日本Kashiyama热卖 水冷多级罗茨干式真空泵 定位：水冷多级罗茨干式真空泵，MU-X 的升级节能版本（MU-XE / MU-GX 同平台），主打机台内置式（On-board Pump），小型化、超低功耗，面向半导体洁净 / 轻度严苛制程 结构：多级无油罗茨，泵腔无油；转子与腔体做防腐强化，相比 MU-P/H 更耐副产物；相比老款 MU-X 进

日本Kashiyama热卖 水冷多级罗茨干式真空泵 定位：水冷多级罗茨干式真空泵，MU-X 的升级节能版本（MU-XE / MU-GX 同平台），主打机台内置式（On-board Pump），小型化、超低功耗，面向半导体洁净 / 轻度严苛制程 结构：多级无油罗茨，泵腔无油；转子与腔体做防腐强化，相比 MU-P/H 更耐副产物；相比老款 MU-X 进

日本Kashiyama热卖 水冷多级罗茨干式真空泵 定位：水冷多级罗茨干式真空泵，MU-X 的升级节能版本（MU-XE / MU-GX 同平台），主打机台内置式（On-board Pump），小型化、超低功耗，面向半导体洁净 / 轻度严苛制程 结构：多级无油罗茨，泵腔无油；转子与腔体做防腐强化，相比 MU-P/H 更耐副产物；相比老款 MU-X 进

日本Kashiyama热卖 水冷多级罗茨干式真空泵 定位：水冷多级罗茨干式真空泵，MU-X 的升级节能版本（MU-XE / MU-GX 同平台），主打机台内置式（On-board Pump），小型化、超低功耗，面向半导体洁净 / 轻度严苛制程 结构：多级无油罗茨，泵腔无油；转子与腔体做防腐强化，相比 MU-P/H 更耐副产物；相比老款 MU-X 进

日本Kashiyama热卖 水冷多级罗茨干式真空泵 定位：水冷多级罗茨干式真空泵，MU-X 的升级节能版本（MU-XE / MU-GX 同平台），主打机台内置式（On-board Pump），小型化、超低功耗，面向半导体洁净 / 轻度严苛制程 结构：多级无油罗茨，泵腔无油；转子与腔体做防腐强化，相比 MU-P/H 更耐副产物；相比老款 MU-X 进

日本Kashiyama热卖 专为大尺寸晶圆FPD/OLED 定位：水冷式【罗茨增压 + 主干泵一体式机组】，大抽速干式真空泵，专为大尺寸晶圆、FPD/OLED 的 Loadlock 腔体设计，主打大气快速抽气、缩短腔体 cycle time 原理：内置机械增压罗茨 booster + 多级罗茨干泵一体集成，不是单纯单级干泵；大腔体从大气压快速抽到中真空