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Kashiyama樫山优势品牌
SDL20E50Kashiyama樫山 罗茨+螺杆组合式干式真空泵





产品型号:SDL20E50
更新时间:2026-10-19
厂商性质:经销商
访问量:8
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罗茨增压泵 + 螺杆前级泵一体化机组:大气下抽速巨大,适合大容积腔体快速降压;不是单纯螺杆泵
水冷结构,标配氮气吹扫,可支持热 N₂吹扫版本,耐受溶剂、轻度副产物
模块化,多台并联可扩展到 150,000 L/min 以上超大抽速
洁净无油干泵,SEMI 合规,带监测、报警、通讯接口
重点区分:SDL优先做 Loadlock 预抽,不是刻蚀 / PVD 工艺主抽泵;粉尘、强卤素腐蚀工况不适合 SDL(选 SDT)
表格
| 型号 | 最大抽速 L/min | 前级泵抽速 L/min | 极限压力 Pa | 重量 kg |
|---|---|---|---|---|
| SDL12E50 | 25000 | 8000 | 0.8 | 645 |
| SDL20E50 | 40000 | 8000 | 0.8 | 800 |
| SDL36E60 | 60000 | 10000 | 0.8 | 920 |
| SDL3600 | 60000 | 12500 | 0.8 | — |
电源:三相 AC200~220V / 380~440V,50/60Hz
冷却:水冷
结构:Roots 罗茨增压 + 螺杆前级一体化机组
选配:热氮气吹扫、气镇、不同法兰规格
FPD 面板产线 Loadlock、大尺寸晶圆传输腔、大型真空腔体预抽、太阳能电池真空设备、大容积气体置换、溶剂排气;追求短抽气节拍的大容积真空腔优选 SDL樫山工业
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