Kashiyama樫山 罗茨+螺杆组合式干式真空泵
定位：大气段超大抽速组合干泵（罗茨增压 + 螺杆前级），水冷，主打大容积 Loadlock、FPD 面板、大尺寸晶圆传输腔快速预抽，核心优势是大气压附近抽速厉害，大幅缩短抽气周期樫山工业

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