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NeoDry300E日本Kashiyama樫山 风冷多段罗茨干式真空泵




产品型号:NeoDry300E
更新时间:2026-10-19
厂商性质:经销商
访问量:9
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风冷结构,不用冷却水,管路简单,现场改造、实验室、小型设备非常友好
多段无接触罗茨转子,泵腔内无油、无密封 tip-seal,低粒子析出,洁净真空
标配气镇(Gas Ballast),可处理水蒸气、少量溶剂;最大水蒸气处理量最高 600g/h
长维护周期:洁净空气 / N₂工况下推荐6 年一次维护
低噪音、低振动;支持变频,电源适配宽,单相 / 三相 AC200V
SEMI S2、CE、NRTL 认证;仅限洁净、弱腐蚀工况,不适合卤素、大量粉尘工艺(重腐蚀选 SDE/SDT)
内置报警、信号输出,适合做前级背泵
表格
| 型号 | 抽速 L/min | 极限压力 Pa | 入口法兰 |
|---|---|---|---|
| NeoDry7E | 110 | 5.0 | NW25 |
| NeoDry15E | 250 | 1.0 | NW25 |
| NeoDry30E | 500 | 2.0 | NW40 |
| NeoDry36E | 600 | 0.3 | NW40 |
| NeoDry60E | 1000 | 1.0 | NW40 |
| NeoDry100E | 1670 | 2.0 | NW40 |
| NeoDry300E | 5000 | 5.0 | NW50/NW80 |
冷却:风冷(无冷却水)
电源:AC200~240V 50/60Hz,单相 / 三相可选
结构:多段 Roots 罗茨(不是螺杆泵!⚠️ MU/SDE/SD 是螺杆)
可选:N₂吹扫、氢气排气规格、降噪版本
涡轮分子泵前级背泵、等离子清洗机、小型蒸镀机、氦检、质谱、电镜、真空脱泡、冻干小样、真空干燥、气体置换、实验室真空设备
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