日本Kashiyama热卖 专为大尺寸晶圆FPD/OLED 定位：水冷式【罗茨增压 + 主干泵一体式机组】，大抽速干式真空泵，专为大尺寸晶圆、FPD/OLED 的 Loadlock 腔体设计，主打大气快速抽气、缩短腔体 cycle time 原理：内置机械增压罗茨 booster + 多级罗茨干泵一体集成，不是单纯单级干泵；大腔体从大气压快速抽到中真空

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日本Kashiyama热卖MU系列 水冷多级罗茨 定位：半导体中低负荷工艺水冷干泵，大抽速、低功耗，分为 MU 基础系列 / MU-P/H（热氮气吹扫版） / MU-X（严苛制程加强版）

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