EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理 荏原独特的高温技术使其能够在半导体、液晶和太阳能电池制造等产生反应副产物的高负荷工艺中运行。其高能效可同时实现高负荷工艺能力和节能效果。标配耐腐蚀材料，并提供排气量高达110,000升/分钟的大排量型号。凭借丰富的产品系列，可满足各种工艺条件，从而应对广泛的高负荷工艺。

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