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EBARA 干式真空泵EST系列的核心特点以及关键技术参数

更新时间：2026-05-11点击次数：24
EBARA 干式真空泵 EST 系列是基于螺杆泵技术的无水冷却型真空泵，适用于处理反应副产物和大容积腔室的快速抽气。
EBARA 干式真空泵EST系列的核心特点以及关键技术参数
以下是其详细介绍：

产品特点

  • 适应高温环境：配备高温运行功能，可将泵内气体维持在高温状态，防止反应副产物冷凝，适用于化学气相沉积（CVD）等会产生反应副产物的工艺。

  • 抽气性能较好：采用螺杆式转子，标准配置耐腐蚀材料，能实现高排气速度和大抽气量，有助于提高工艺效率，减少停机时间。

  • 电源适应性强：不受频率（50/60Hz）影响，可提供相同的抽气性能。

  • 符合相关标准：具备 CE 认证、SEMI-S2 标准认证和 NRTL 认证。

技术参数

型号EST10NEST25NEST100WNEST200WNEST300WNEST500WNEST800WN
抽气速度（L/min）100025001000020000300005000080000
极限压力（Pa）2.70.40.40.40.40.40.5
进气口连接口径NW40NW40NW50NW100NW100ISO160ISO200
排气口连接口径NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40
极限压力时电力（kW）2.333.23.24.54.64.6
电源容量（kVA）4.67.38.28.512.715.116

应用领域

主要应用于半导体制造中的原子层沉积（ALD）、快速热加工（RTP）、低压化学气相沉积（LPCVD）等工艺，也可用于光伏、化学等行业中需要处理粉状、腐蚀性气体的场合。


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