EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理
荏原独特的高温技术使其能够在半导体、液晶和太阳能电池制造等产生反应副产物的高负荷工艺中运行。其高能效可同时实现高负荷工艺能力和节能效果。标配耐腐蚀材料，并提供排气量高达110,000升/分钟的大排量型号。凭借丰富的产品系列，可满足各种工艺条件，从而应对广泛的高负荷工艺。

二、核心结构与技术原理

核心技术亮点

1. 高温防沉积技术

   泵腔全程恒温加热，反应粉尘、冷凝物不会附着泵体，大幅减少清理、拆机维护频次，适配刻蚀、CVD 等产尘量大制程。

2. 超高氢气抽气性能

   相比螺杆干泵，H₂氢气抽速显著更高，薄膜沉积、退火、ALD 氢气工艺吞吐量更强。

3. 全域节能控制

   智能怠速模式，待机 / 低负载自动降转速，极限真空运行功耗极低，长期运行电费大幅降低；50/60Hz 双频率下抽速、真空性能一致，*工厂通用。

4. 标准耐腐蚀基底

   腔体标配防腐不锈钢材质；强腐蚀 HF、Cl 基气体场景可选镍涂层、哈氏合金腔体升级方案。

5. 一体化集成设计

   整机自带水冷回路、本地触控显示屏、急停按钮、真空压力监测、故障自诊断；支持远程通讯对接 Fab 工厂自动化系统。

6. 合规认证齐全

   CE、NRTL、SEMI S2 半导体安全标准认证，可直接用于无尘车间 Subfab 真空机房

三、全系列型号与基础参数

• N 标准型：通用半导体常规腐蚀工艺；

• SF 重载强化型：超高粉尘、强腐蚀、长连续运行产线专用；

• 冷却统一水冷：单台冷却水流量 3~12 L/min，水温≤25℃。

四、产品优势总结

1. 运维成本更低：高温防积尘设计，拆机清洗周期延长 2~3 倍，减少产线停机损失；无油设计，无需定期更换真空油、油过滤器。

2. 占地面积紧凑：立式一体化机柜，同等抽速比传统分体罗茨机组占地缩小 30%，适配空间紧张的洁净厂房。

3. 工况兼容性广：可处理含硅、氯、氟、金属有机源等各类腐蚀性工艺气体；支持连续 7×24 小时不间断运行。

4. 智能化运维：本地触摸屏实时显示真空度、温度、电流、冷却水状态；内置故障代码，支持远程报警、数据上传至工厂 MES 系统。

5. 低总拥有成本 (TCO)：变频节能 + 长维护周期，对比竞品干泵 3 年综合运行成本下降 20% 以上。

五、典型应用行业与工艺

1. 半导体晶圆制造（核心应用）

2. 液晶 / 面板显示产线

3. 光伏太阳能电池

4. 科研与工业真空