EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理 其独特的转子设计和空转功能实现了节能和紧凑的尺寸，从而降低了运行成本。此外，多种耐腐蚀材料可选，使其应用​​范围广泛，从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺均可胜任。

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EBARA荏原 单级螺杆式无油干泵华南一级代理 EST 型号采用螺杆式转子，并具备高温功能，可维持泵内气体的高温，使其成为 CVD 等会产生反应副产物的应用的理想选择。该型号标配耐腐蚀材料，可实现高泵速和高流量，最大限度地减少停机时间，从而提高工艺效率。

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