EBARA荏原 单级螺杆式无油干泵华南一级代理
EST 型号采用螺杆式转子，并具备高温功能，可维持泵内气体的高温，使其成为 CVD 等会产生反应副产物的应用的理想选择。该型号标配耐腐蚀材料，可实现高泵速和高流量，最大限度地减少停机时间，从而提高工艺效率。

一、产品定位

二、核心结构与核心技术

1. 基础结构

2. 五大核心技术

1. 腔体恒温防沉积技术

   泵体全程可控高温保温，抑制硅烷、氯化物、金属有机源副产物冷凝结块，大幅减少泵腔积尘卡死，清洗周期延长 2~3 倍。

2. 高负载异形螺杆转子

   螺杆容积优化设计，瞬间大进气、脉冲式产气工况真空度无大幅漂移，大腔体快速抽气稳定性优于罗茨结构；粉末通过性强，不易堵转。

3. 标准 NiResist 耐蚀镍合金腔体

   出厂标配防腐基材，原生耐受 Cl、F、硅基腐蚀气体；WN 加强版升级镍涂层 + PFA 内衬，适配 HF 等高卤素强腐蚀工艺。

4. 智能变频自适应转速控制

   实时根据真空度、进气负载自动调速，轻载怠速节能；可自定义氮气吹扫流量、温度报警阈值，本地 LCD 可编程设置、故障数据存储溯源。

5. 全域安全连锁保护

   缺水、超温、过载、压力异常自动停机；支持 Profinet/CC-Link/Modbus 对接工厂 MES 自动化系统。

三、全系列型号标准参数表

• N：标准防腐型；WN：加强耐卤素 / 高粉尘重载型

• 数字 = 额定抽速（L/min）

四、EST 螺杆 vs EV-M 罗茨 选型核心区分

五、产品核心优势

1. 极低综合运维成本

   无油设计，无需更换真空油、油滤；高温防腐结构减少拆机清洗频次，产线停机损失大幅降低。

2. 紧凑型一体化机柜

   立式集成水冷、电控、面板，同等抽速占地更小，适配 Subfab 密闭机房布局。

3. 宽工况适配

   连续 7×24 小时量产运行；可搭配前置冷阱、粉尘捕集器、尾气中和系统配套使用。

4. *供电兼容

   3 相 200~480V 宽电压，50/60Hz 抽气性能一致，海外建厂无需更换机型。

5. 洁净无二次污染

   全干式气流路径，无油气返流，满足 8 寸 / 12 寸晶圆高洁净制程要求。

六、典型应用行业 & 工艺

1. 半导体晶圆制造（主力场景）

2. 平板显示（LCD/OLED）

3. 光伏新能源

4. 科研 & 工业真空