Fujikin富士金 MEGA 系列 直接式金属隔膜阀
MEGA 是 NEW-MEGA 的上一代经典产品，半导体高纯气路老牌主力金属隔膜阀；目前原厂逐步主推 NEW-MEGA，MEGA 多为存量替换、老设备备件采购。

Fujikin富士金 MEGA 系列 直接式金属隔膜阀
Fujikin富士金 MEGA 系列 直接式金属隔膜阀

一、产品线完整分类

1）气动型（自动化）

• FPR-ND：气动常闭 NC（失气关闭，通用）

• FP-ND：气动常开 NO（失气打开）

• FPR-NDTB / FP-NDTB：气动三通切换阀

⚠️初代 MEGA原生没有 UDDF 两段式型号！两段结构是后期 NEW-MEGA 新增

2）手动型

• FUND：标准流量直通二通手动阀

• FUNDL：Low-flow 低 Cv 小流量手动阀

• FUNDLTB：三通手动切换阀

3）MEGA-MINI LA（紧凑型迷你 MEGA）

缩小体积版本，空间受限面板使用，同样区分气动 NC/NO。

二、型号命名范例

FPR-ND-71G-6.35-2

FPR = 气动常闭；FP=气动常开；FUND/FUNDL=手动ND = 二通直通；NDTB=三通71 = 标准低压阀体（Max 1.0MPa）G = UJR(VCR)金属密封接口6.35 = 管径 6.35mm(1/4")；9.52(3/8")；12.7(1/2")2 = Cv流量代码可选后缀：EP 电解抛光(标准 Ra≤0.25μm)UP 超抛光 Ra≤0.07μmNL Non-Lube无润滑洁净规格PI/PCTFE 阀座材质

三、核心技术规格（和 NEW-MEGA 材质基准一致）

1. 接液材质阀体：SUS316L / SUS316LP隔膜：镍钴合金金属隔膜阀座：标准 PCTFE；可选 PI 耐高温、耐强腐蚀

2. 压力等级71 系列标准：1.0 MPa；721 高压规格最高 20.5MPa

3. 使用温度：-10℃ ~ +80℃（PCTFE 阀座）

4. 驱动气源：0.4～0.6 MPa 洁净干燥空气

5. 氦泄漏标准外漏 / 阀座泄漏：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s

6. 循环寿命6.35 规格 ≥300 万次；9.52 规格 ≥200 万次

✅对比：NEW-MEGA 优化提升至≥400 万次

7. 接口：UJR (VCR)、F900、自动焊接 BW

四、MEGA（老款） VS NEW-MEGA（新款）【选型重中之重】

表格

⚠️重要提醒：新项目优先采购 NEW-MEGA；只有老设备维修备件，才选用 MEGA 原型号。

五、核心产品特点

1. 直接隔膜结构，无滑动部件，低微粒产生，适配高纯 / 腐蚀性特气（HCl、HF、硅烷、卤素气体）

2. 全金属密封，兼顾真空工况与压力管路

3. 禁油出厂，满足半导体洁净室要求

4. 三通型号可实现吹扫、隔离、旁路气路切换

六、典型应用场景

1. 老旧半导体刻蚀、CVD 设备备件替换

2. 早期特气柜 VMB 气体面板

3. 光伏、面板产线存量设备维修

4. 实验室高纯腐蚀气体管路