富士金 NFUND‑71G‑6.35‑2（NEW‑MEGA 系列 手动超高纯隔膜阀）产品介绍

富士金 NFUND‑71G‑6.35‑2（NEW‑MEGA 系列 手动超高纯隔膜阀）

一、型号解析

• NFUND：NEW‑MEGA 系列（新一代高纯隔膜阀）

• 71G：阀体规格（EP 电解抛光、VCR 接口、标准型）

• 6.35：通径 6.35 mm（1/4 英寸）

• 2：标准流路、Cv 规格代码

二、核心结构与材质（接液全高纯）

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光（Ra ≤ 0.25 μm），无油无尘

• 隔膜：镍‑钴合金（哈氏合金系），抗疲劳、低掉尘、耐强腐蚀

• 阀座：PCTFE，耐 HF、HCl、HI、Cl₂、WF₆、SiH₄ 等特气

• 手柄：聚酰亚胺，耐高温、防静电、耐腐蚀

• 结构：零死区设计，无滞留死角，置换性能优异

三、关键技术参数

• 公称通径：6.35 mm（1/4"）

• 接口形式：VCR 公头（UJR），金属垫片密封

• 最高压力：1.0 MPa（10 bar）

• 温度范围：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.3（N₂，20℃）

• 泄漏等级：

• 内漏：气泡级零泄漏

• 外漏：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 洁净度：禁油（OIL‑FREE），半导体级

• 尺寸（mm）：长 57 × 高 53 × 宽 35；手柄长 40

• 重量：约 260 g

• 安装：面板安装（开孔 φ20.5）

四、主要特点

1. 超高洁净：EP 电解抛光 + 无油处理，颗粒极低，满足 8/12 寸与 SiC/GaN 工艺

2. 强耐腐蚀：镍钴合金隔膜 + PCTFE 阀座，适配几乎所有半导体特气

3. 高密封可靠：金属隔膜 + VCR 金属垫，氦级密封，长期真空 / 高压稳定

4. 紧凑易集成：体积小、面板安装密度高，气体面板 / 特气柜标配

5. 长寿命：隔膜疲劳寿命显著优于普通 MEGA 系列，维护周期长

五、典型应用

• 半导体：刻蚀、沉积、扩散、清洗机台、特气柜（GC）、气体面板（GP）

• 高纯气体：N₂、Ar、He、O₂、H₂ 输送与分配

• 腐蚀性特气：HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄ 等危险 / 高纯介质

• 真空系统：高真空管路隔离与切换

• 面板 / LED：OLED、LCD、光伏制程气路控制