富士金 FPR‑SD‑71‑6.35‑2（FINE 系列 气动高纯隔膜阀）产品介绍

富士金 FPR‑SD‑71‑6.35‑2（FINE 系列 气动高纯隔膜阀）

一、型号解析

• FPR：FINE 系列 PURE 气动隔膜阀（新一代高纯气动阀）

• SD：常开（Normally Open）、标准执行器

• 71：阀体规格（EP 电解抛光、VCR 接口、标准流路）

• 6.35：通径 6.35 mm（1/4 英寸）

• 2：标准流量规格、Cv 代码

二、接液部材质（全高纯耐腐蚀）

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光（Ra ≤ 0.25 μm），无油无尘

• 隔膜：镍‑钴合金（哈氏合金系），抗疲劳、低掉尘、耐强腐蚀

• 阀座：PCTFE，耐 HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄ 等特气

• 执行器：铝合金阳极氧化，洁净防静电、耐腐蚀

• 结构：零死区设计，无滞留死角，气置换优异

三、核心技术参数

• 公称通径：6.35 mm（1/4"）

• 接口形式：VCR 公头（UJR），金属垫片密封

• 最高工作压力：1.0 MPa（10 bar）

• 流体温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（N₂，20℃）

• 泄漏等级：

• 内漏：阀座零泄漏（气泡级）

• 外漏：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 控制气源：0.4～0.6 MPa，接口 M5×0.8

• 开关寿命：≥100 万次

• 尺寸（mm）：约 65×40×55（长 × 宽 × 高）

• 重量：约 320 g

• 安装：面板安装（开孔 φ22）

四、主要特点

1. 超高洁净：EP 电解抛光 + 无油处理，颗粒极低，满足 8/12 寸与 SiC/GaN 工艺

2. 强耐腐蚀：镍钴合金隔膜 + PCTFE 阀座，适配几乎所有半导体特气

3. 高密封可靠：金属隔膜 + VCR 金属垫，氦级密封，长期真空 / 高压稳定

4. 气动自动化：常开型（断电 / 断气时自动打开），适配 PLC 自动控制，响应快

5. 紧凑易集成：体积小、面板安装密度高，气体面板 / 特气柜标配

五、适用气体与应用场景

• 高纯气体：N₂、Ar、He、H₂、O₂

• 腐蚀性特气：HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄、NF₃

• 典型用途：

• 半导体：刻蚀、沉积、扩散、清洗机台、特气柜（GC）、气体面板（GP）

• 面板 / 光伏：OLED、LCD、光伏制程气路控制

• 高纯 / 腐蚀性气体输送、吹扫回路、旁路回路、真空隔离