富士金 FUNDL‑71G‑6.35‑2（MEGA 系列 低流量手动高纯隔膜阀）产品介绍

富士金 FUNDL‑71G‑6.35‑2（MEGA 系列 低流量手动高纯隔膜阀）

一、型号解析

• FUNDL：MEGA 系列 Low-flow（低流量）手动隔膜阀

• 71G：阀体规格（EP 电解抛光、VCR 公头、标准型）

• 6.35：通径 6.35 mm（1/4 英寸）

• 2：标准低流量 Cv 代码

二、接液部材质（全高纯耐腐蚀）

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光（Ra ≤ 0.25 μm），禁油

• 隔膜：镍‑钴合金（哈氏合金系），抗疲劳、低掉尘、耐强腐蚀

• 阀座：PCTFE，耐 HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄ 等特气

• 手柄：工程塑料，防静电、耐腐蚀、带开关到位手感

• 结构：低死区设计，流体滞留少，气置换性能好

三、核心技术参数

• 公称通径：6.35 mm（1/4"）

• 接口形式：VCR 公头（UJR），金属垫片密封

• 最高工作压力：1.0 MPa（10 bar）

• 流体温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.2（N₂，20℃，低流量特性）

• 泄漏等级：

• 内漏：阀座零泄漏（气泡级）

• 外漏：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 尺寸（mm）：长 57 × 高 53 × 宽 35；手柄长 40

• 重量：约 260 g

• 安装：面板安装（开孔 φ20.5）

四、主要特点

1. 低流量精准控制：Cv=0.2，比标准 FUND 系列（Cv=0.35）小约 40%，适合小流量吹扫、旁路与精密气路

2. 超高洁净低发尘：EP 电解抛光 + 无油处理，满足 8/12 寸成熟制程与 SiC/GaN 辅助工艺

3. 强耐腐蚀：镍钴合金隔膜 + PCTFE 阀座，适配几乎所有半导体特气

4. 紧凑易集成：体积小、面板安装密度高，特气柜（GC）、气体面板（GP）标配

5. 高密封长寿命：金属隔膜 + VCR 金属垫，氦级密封，长期真空 / 高压稳定；隔膜疲劳寿命长

五、适用气体与应用场景

• 高纯气体：N₂、Ar、He、H₂、O₂

• 腐蚀性特气：HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄、NF₃

• 典型用途：

• 半导体：成熟制程隔离、吹扫回路、设备维修旁路、特气柜手动隔离

• 面板 / 光伏：OLED、LCD、光伏制程小流量气路控制

• 真空系统：高真空管路隔离与切换