Fujikin富士金 NEW-MEGA 直接式金属隔膜阀
富士金半导体超高纯流体主力阀，MEGA 系列升级换代型*，广泛用于半导体特气柜、刻蚀 / CVD 设备、真空管路、SiC 宽禁带工艺。

Fujikin富士金 NEW-MEGA 直接式金属隔膜阀
Fujikin富士金 NEW-MEGA 直接式金属隔膜阀

一、产品线分类（驱动 + 流路形式）

1）气动型（自动化设备主流）

• FPR 系列：常闭 NC（失气关闭，常用）

• FP 系列：常开 NO（失气打开）

执行器驱动气压标准：0.4～0.6 MPa

• 流路形态

• ND：直通二通阀

• NDTB：三通切换阀

• UDDF：两段式气动阀（预开 + 全开，吹扫微量控制）

2）手动型（FUND / FUNDLTB）

• FUND：直通二通手动隔膜阀

• FUNDLTB：三通手动隔膜阀带开闭指示手柄，支持面板安装。

3）NEW-MEGA MINI（紧凑型迷你款）

体积缩小，分为 HA 高压型、LA 低压型，空间受限设备选用。

二、型号命名规则（范例：FPR-ND-71G-6.35-2）

FPR    = 气动常闭；FP=气动常开；FUND=手动ND     = 直通二通；NDTB=三通；UDDF=两段式71     = 阀体系列代码（标准低压1MPa）；721=高压规格G      = 接口形式（UJR/VCR金属密封）6.35   = 管径：6.35mm(1/4") /9.52(3/8") /12.7(1/2")2      = Cv流量代码后缀选项：EP = 电解抛光(标准 Ra≤0.25μm)UP = 超抛光 Ra≤0.07μm（12寸、SiC制程）NL = Non-Lube 无润滑超高洁净PA/PCTFE/PI = 阀座材质

三、基础技术规格

1. 接液材质

• 阀体：SUS316L / SUS316LP

• 隔膜：镍钴合金金属隔膜（抗疲劳、低发尘）

• 阀座：标准 PCTFE；可选 PI / PFA

2. 压力等级

• 71 系列标准：Max 1.0 MPa

• 721 高压系列：最高 20.5 MPa

3. 温度范围：-10℃ ～ +80℃（标准 PCTFE 阀座）

4. 泄漏等级：氦检漏，内外极低泄漏，适配真空系统

5. 洁净规格：出厂禁油、无颗粒处理

6. 循环寿命

• 标准气动阀 ≥400 万次

• MINI 小型款 ≥300 万次

7. 连接接口UJR（富士金标准 VCR 等效金属密封）、F900、自动焊 BW

8. Cv 范围：0.1 ~ 0.65（随通径、流道结构变化）

四、核心优势（选型关键点）

1. 零死区流道直接隔膜结构，流体无滞留死角，置换性能优异，适合有毒 / 腐蚀性特种气体（SiH₄、NH₃、HCl、Cl₂、HF）

2. 低微粒产生金属隔膜无滑动摩擦，满足 Class1 洁净室，适配 8/12 寸晶圆、第三代半导体 SiC/GaN 产线

3. 金属密封兼容真空可长期用于高真空管路，同时兼容高纯惰性气体、可燃、腐蚀性特气

4. 紧凑结构气体面板密集排布，节省安装空间

5. 材质耐蚀广谱兼容绝大多数半导体电子气体