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ULVAC爱发科 代理品牌
产品简介:

ULVAC爱发科 代理品牌
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接全球半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:CR30B

更新时间:2026-04-29

厂商性质:经销商

访问量:23

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产品介绍

ULVAC爱发科  代理品牌
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ULVAC 爱发科 CR30B 干式真空泵

CR30B 是日本爱发科(ULVAC)CR 系列 Ver.B 风冷多级罗茨干泵,主打无油洁净、空冷免水、小巧低噪、高耐水汽,是中高真空段的经典机型,广泛用于电子、镀膜、干燥、科研等洁净真空场景。
ULVAC 爱发科 CR30B 干式真空泵

一、核心特点

  • 全无油洁净:泵头无油、转子非接触运转,零油污染、无粉尘,极限真空≈2 Pa(无气镇),适配高洁净工艺。

  • 空冷免水设计:强制风冷,无需冷却水 / 氮气吹扫,即插即用、安装简单、无漏水风险。

  • 强耐水蒸气标配气镇,最大水蒸气处理量 **<500 g/h**,适合真空干燥、溶剂脱除等潮湿工况。

  • 小巧高效低噪:整机仅48 kg、尺寸紧凑(约 521×240×244 mm),噪音低、功耗 1.5 kW,适合移动 / 集成。

  • 长寿命易维护:非接触转子无磨损、无密封件更换,维护周期长、运行成本低

二、技术参数(概要)


项目参数
最大抽速30 m³/h(500 L/min)
极限真空(无气镇)≤2×10⁻² mbar(≈2 Pa)
极限真空(气镇开)≈3–5 Pa
最大水蒸气抽速<500 g/h
进气口 / 排气口KF40 真空法兰
电机功率 / 电源1.5 kW / 三相 200V,50/60 Hz
冷却方式强制空冷
噪音约 58 dB (A)
重量48 kg
尺寸(长 × 宽 × 高)约 521×240×244 mm
认证CE、cTUVus(IP54 可选)

三、典型应用

  • 半导体 / 电子:晶圆干燥、等离子清洗、封装测试、真空腔体抽空。

  • 光学 / 镀膜:真空镀膜、溅射、蒸镀、光学元件真空处理。

  • 医药 / 生物:真空干燥、冷冻干燥、蒸馏浓缩、无菌包装。

  • 化工 / 新材料:溶剂脱除、反应釜真空、精馏除气、锂电池 / 光伏制造。

  • 科研 / 实验室:质谱、电子显微镜、真空腔体、通用高真空系统。



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