ULVAC 爱发科（日本）完整介绍以及产品一览

一、品牌核心定位

二、核心优势

1. 全系列真空产品齐全：油旋片泵、干泵、罗茨泵、分子泵、检漏仪、真空计、MFC、真空阀

2. 耐腐蚀性能强：耐蚀涂层、镍基材质，适配 HCl、HI、氟化物、碘蒸气等第三代半导体腐蚀气体

3. 半导体级洁净：SEMI 标准，低粉尘、低泄漏，适配刻蚀、CVD、PVD、MOCVD、SiC 外延

4. 稳定性高、维护周期长，日系产线兼容性强，可与 EBARA、KOFLOC、SIBATA 配套使用

5. 国内布局：爱发科中国，深圳、上海、大连有工厂 / 服务中心，售后响应快

三、主力产品线（工业 / 半导体常用）

1. 干式真空泵（对标 EBARA 荏原，半导体主力）

• LR 系列 罗茨干泵：LR80/180/360，中小抽速，风冷，Load‑Lock、PVD、检测设备

• CR 系列 螺杆干泵：CR30/40/60，大抽速、水冷，CVD、刻蚀、MOCVD、SiC 产线主力

• VS 系列 耐腐蚀干泵：专为腐蚀气体设计，适配氯化氢、碘化氢、氟气，第三代半导体优选

• 特点：无油、低振动、长寿命，极限真空稳定

2. 分子泵（超高真空）

3. 油式真空泵（通用工业）

4. 真空测量与控制

• 皮拉尼真空计、电容薄膜真空计、电离真空计

• MFC 质量流量控制器：和 KOFLOC、HORIBA 对标，半导体工艺气体控制

• 真空阀门、波纹管、检漏仪（UL1000 系列氦质谱检漏仪）

四、重点应用行业

1. 半导体 & 第三代半导体（SiC/GaN）

   刻蚀、CVD、PVD、外延、退火、Load‑Lock、腐蚀工艺尾气抽取

2. 显示面板 OLED/LCD

   溅射、蒸镀、真空镀膜

3. 新能源光伏、锂电

   镀膜、真空干燥、注液、封装

4. 科研、质谱、电子显微镜、真空冶金