SIBATA 柴田科学 完整介绍以及产品一览

一、品牌核心特点

1. 日系精密制造，流量精度高、稳定性强、脉动小

2. 大量采用PTFE 特氟龙、哈氏合金、耐蚀不锈钢，适配 HCl、HI、氟化物等半导体强腐蚀气体

3. 设备体积小、低噪音、可 24h 连续运行，适合洁净室、产线在线监测

4. 符合 JIS、ISO、NIOSH、中国计量标准，日系半导体产线常用配套品牌

二、核心产品线（重点工业 / 半导体常用）

1. 空气采样泵（经典）

• 主力系列：MP‑Σ500Ⅱ、MP‑300、MP‑100、MP‑W5P

• 用途：洁净室尘埃、气溶胶、VOC、腐蚀性气体采样；真空泵尾气监测；车间环境检测

• 特点：无油干式、低脉动、耐腐蚀、便携 / 台式可选

2. 流量仪表 & 质量流量控制器（MFC）

• 转子流量计、干式气体流量计、质量流量控制器、差压流量计

• 用于：半导体工艺气体配比、真空泵抽气流量监测、SiC / 腐蚀气体管路流量控制

• 常与 KOFLOC、HORIBA 配套使用

3. 粉尘 / 环境检测仪器

• 粉尘采样器、冲击式采样器、气体吸收瓶、过滤装置

• 用于洁净室等级验证、半导体车间废气处理、锂电 / 光伏环境监测

4. 实验室耗材 & 前处理设备

三、主要应用场景

1. 半导体 / SiC 第三代半导体

   洁净室环境监测、工艺尾气采样、真空泵排气检测、腐蚀气体预处理

2. 医药 GMP 车间、无菌环境尘埃微生物检测

3. 化工、锂电、光伏废气、粉尘在线监测

4. 第三方检测机构、高校科研、疾控中心