EBARA荏原 华南一级代理 玉崎
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荏原 EV‑A10 干式真空泵（EBARA）

一、核心特点

• 全无油设计：转子精密配合，无油 / 水介质，杜绝油污染，可抽除腐蚀性、易燃易爆、含湿气体。

• 空冷免水：无需冷却水，接入电源即运行（Plug & Pump），安装简单、无漏水风险。

• 高抽速 + 高真空：额定抽速 1,000 L/min（60 m³/h），极限压力 1 Pa（无气镇）/ 2–3 Pa（气镇开）。

• 强水蒸气能力：最大水蒸气抽速 500 g/h，适合潮湿气体工艺。

• 低噪便携：噪音约 59 dB(A)，带滚轮、机身紧凑（约 72–75 kg），方便移动布置。

• 长寿命易维护：非接触转子、无密封件更换，维护周期长、运行成本低。

二、技术参数（概要）

三、典型应用

• 半导体：等离子刻蚀、CVD、PVD、离子注入、晶圆干燥。

• 光学 / 镀膜：真空镀膜、溅射、蒸镀、光学元件真空处理。

• 医药 / 生物：真空干燥、冷冻干燥、蒸馏、浓缩、无菌包装。

• 化工 / 新材料：溶剂脱除、反应釜真空、精馏、除气、锂电池 / 光伏制造。

• 科研 / 实验室：质谱、电子显微镜、真空腔体、通用高真空系统。