大阪真空Osaka Vacuum 优势品牌
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大阪真空 OSAKA TG2400M 磁悬浮涡轮分子泵

一、核心特点

• 超大抽速 + 超高真空：氮气抽速 2400 L/s（144 m³/h），极限压力 ＜1×10⁻⁶ Pa，满足高真空 / 超高真空需求。

• 磁悬浮无油轴承：5 轴主动磁悬浮，无接触、无磨损、零振动、零油污染，寿命超 10 万小时，免维护。

• 高压缩比：氮气最大压缩比 1×10⁸，氢气 1.4×10³，适配轻气与复杂气体工况。

• 紧凑轻量化：仅 45 kg（ISO‑B 版），支持任意角度安装，节省空间易集成。

• 快速启停 + 节能：启动 / 停止各 4–5 min；高速 33,600 rpm，低功耗，适配 24/7 连续运行。

• 水冷 / 风冷可选：标准水冷（WB）、风冷（AB）可选，适配不同散热需求。

• 智能控制 + 安全认证：标配控制器 TC010MB，RS232C 远程监控；符合 SEMI‑S2、CE、NRTL，半导体产线合规。

二、技术参数（概要）

三、典型应用

• 半导体：CVD、PVD、刻蚀、离子注入、晶圆检测、超高真空腔体。

• 光学 / 镀膜：真空镀膜、溅射、蒸镀、光学元件真空处理、FPD 制造。

• 分析 / 科研：质谱、电子显微镜、同步辐射、核聚变研究、高能物理实验。

• 电子 / 精密制造：电子枪排气、电离源、表面改性、热处理、灯具 / 光学元件生产。