Osaka Vacuum(大阪真空)是一家专业的真空泵和真空系统制造商,成立于 1950 年,拥有 70 多年的技术积累和丰富经验。以下是其真空泵的简介:
液环式真空泵:大阪真空的液环式真空泵可以使用水或各种密封液,能对含有水蒸气或各种有机溶剂的气体进行排气,还可通过封闭循环系统减少废液。该泵可以与罗茨泵串联,用较少的能量实现大量排气,以达到高真空环境(PRL 系列);也可串联大气喷射器,防止气蚀现象(1 段喷射器:WA 系列,2 段喷射器:WB 系列)。
油扩散真空泵:如 DP 系列油扩散真空泵,没有机械移动部件,坚固耐用,液压油冲击引起的压力波动小,可靠性高,且结构易于拆卸,便于内部清洁、维护和检查。它通过高速蒸汽射流将气体分子从泵入口传输至出口,从而产生高真空环境,广泛应用于真空热处理炉、真空蒸发、电子束焊接、溅射设备的排气系统等。
干式真空泵:以 DSP251 为例,该泵具有便携式、结构紧凑、重量轻的特点,不易受外界干扰。它采用无齿轮调速结构,无需使用润滑油,标配气镇装置,采用风冷方式,无需冷却水。此外,该泵还具有低噪音、低振动、节能等特点,可实现接近大气压的高抽气速度,排气清洁,广泛应用于扫描电子显微镜、光刻、医疗器械、负载锁 / 传送室排气、分析设备等领域。
多种气体处理能力:液环式真空泵能处理含有水蒸气或有机溶剂的气体,油扩散真空泵和干式真空泵等也可针对不同工艺需求,对多种气体进行有效排气。
高可靠性:油扩散真空泵无机械移动部件,减少了因机械磨损导致的故障,液压油冲击引起的压力波动小,运行可靠。
清洁环保:干式真空泵无需润滑油,避免了油污染,排气清洁,符合环保要求。
大阪真空的真空泵广泛应用于半导体制造、真空镀膜、电子束焊接、真空热处理、医疗器械、分析设备等多个领域,能够满足不同行业对真空环境的需求。