FLUORO福乐 防静电真空镊子（真空吸笔）
干式导电防静电专用真空拾取工具专为半导体无尘车间、晶圆 / 芯片 / 光学元件无损搬运设计，主打 ESD 静电防护、轻量化、模块化

一、产品定位

二、核心材质与防静电性能

1. 笔身阀体：碳纤维导电尼龙（TORACA），表面电阻率10⁶～10⁸Ω，完整泄放静电，杜绝 CMOS、薄晶圆静电击穿

2. 内部阀芯密封：氟树脂，气密性强、低析出、耐微量酸碱气体

3. 吸头吸盘（XX-CP 系列）：导电 PEEK，高韧性、不发尘、不划伤硅片 / 光学镜片，无金属污染

4. 整机无金属外露，满足 Class100 洁净室微粒管控标准

三、三大阀体基础型号（C001/C002/C003）

1. C001（NC 常闭型，通用）

2. C002（NO 常开型）

3. C003（NO+SW 自锁款，主力长时作业款）

四、后缀接头代号（X/Y/Z）

• X（106 万向球头）：360° 自由旋转，多角度倾斜取片，狭小机台空间优选

• Y（103 固定式直接头）：管路垂直稳定，无晃动，重载大尺寸晶圆搬运

• Z（110 伸缩可调接头）：可微调杆长，适配高低不同载台

五、防静电吸头规格（XX-CP 导电吸盘）

• 90-CP：4 寸晶圆专用

• 91-CP：6 寸标准晶圆

• 95-CP：5 寸薄晶圆

• 96-CP：8 寸大尺寸晶圆

• 97-CP：通用 6 寸、SiC 碳化硅晶圆（市面常用）

• 98/99-CP：12 寸大晶圆、超薄抛光片

六、关键性能参数

1. 负压适配：0 ~ -80kPa 无级调压，普通隔膜真空泵即可配套，无需氮气气源

2. 吸附负载：0.1g ~ 500g，轻薄芯片至整片硅片均可稳定抓取

3. 洁净特性：内壁镜面抛光，极低微粒脱落，兼容黄光光刻无尘室

4. 耐用优势：碳纤维尼龙机身抗磕碰，对比 PTFE 氟塑料 F 系列更抗摔，产线高频使用寿命更长

七、典型应用场景

1. 半导体：硅 / 碳化硅晶圆、光刻片、划片、封装、探针台取放

2. 光电行业：光学镜片、滤光片、摄像头玻璃、Mini/Micro LED 基板

3. 精密电子：CMOS 芯片、PCB 微元件、热敏静电敏感元器件

4. 实验室：精密样品、薄玻璃、陶瓷基片无损转移