一、基础信息

• 型号：FCST1000‑01（FCST1000F 系列）

• 产品类型：热式数字质量流量控制器（MFC）

• 01 含义：代表最小量程规格，N₂换算标准量程 10 SCCM（微量流量专用）

• 定位：半导体、SiC/GaN、ALD、刻蚀工艺微量气体精准流量控制，适配高纯、腐蚀性、高危特种气体，高速响应、高精度数字型 MFC

二、型号释义

• FCST：FCS‑Thermal 富士金热式质量流量控制器系列

• 1000：1000 系列标准高速型 MFC

• ‑01：10 SCCM 最小流量量程，微量级精密控制

三、核心结构与优势

1. 高速响应：采用电磁阀驱动，全流量域响应＜1 秒，流量调节快速稳定

2. 高精度控制：控制精度 ±1.0% FS，可实现 2%‑100% 全量程精准调节，支持微量微调

3. 数字智能型：内置微处理器，标配 **RS485（Modbus‑RTU）** 数字通信，支持远程监控、参数配置、流量记录

4. 超高纯洁净：1 级禁油处理，金属密封 / 氟橡胶密封可选，适配半导体严苛洁净要求

5. 适配高危气体：耐 HCl、HI、HF、WF₆、SiH₄等强腐蚀、自燃、剧毒特气

四、接液部材质

• 阀体 / 传感器：SUS316L 不锈钢，可做 EP 电解抛光

• 密封：金属密封（SUS316L）/ 氟橡胶密封可选

• 接口：标准 1/4" VCR/W‑Seal 半导体专用接头

五、关键技术参数

• 标准量程：10 SCCM（N₂换算）

• 最高工作压力：0.4 MPa（400 kPaG），耐压 1.0 MPa

• 工作温度：5‑50℃

• 泄漏等级：金属密封外漏≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s He

• 控制信号：模拟 0‑5V/4‑20mA + 数字 RS485 双模式

• 安装：任意方向安装，面板 / 管路直装

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

典型应用

1. ALD 原子层沉积设备微量前驱体气体精准控制

2. SiC/GaN 第三代半导体刻蚀、扩散、薄膜工艺微量供气

3. 半导体特气柜、气体面板小流量支路精密控制

4. 实验室精密气体配比、微量吹扫系统