变容积式真空泵，极限真空最高的是哪一种泵？

真空泵行业最标准、通用的分类，就是按工作原理

分成三大类：1容积式、2动量传输式、3气体捕集式 即“吸附式"

一、容积式真空泵（变容式）

靠泵腔体积周期性变大变小，把气体 “挤出去"。属于机械泵、粗真空～中高真空。

按极限真空从低 → 高完整排序，清晰好记：

1）水环真空泵（非干式泵 用水）

  极限约 3000～10000 Pa（帕）

  可直接抽大气

2）往复式真空泵

  极限约 10 Pa

  可直接抽大气

3）油封旋片泵/滑阀真空（非干式泵 用油）

  极限约 5 Pa

  可直接抽大气

4）干式螺杆泵、爪式泵、涡旋泵

 极限 约 1～5 Pa

  可直接抽大气

5）干式多级罗茨泵

  约 10⁻2～10⁻4 Pa （0.01～0.0001pa）

  可直接抽大气

容积式特点：

可以直接抽大气压启动。多属于回转类机械泵。工业行业常用

二、动量传输式真空泵（动能式）

靠高速气流 / 高速叶片给气体分子动量，把气体 “推走"。不能直接抽大气，必须前级泵配合。

常见：

分子泵（涡轮分子泵、牵引分子泵）

扩散泵（油扩散泵）

喷射泵

特点：

极限真空高：10⁻4～10⁻8 Pa

必须配前级泵（螺杆，水环，旋片）使用。

三、气体捕集式真空泵（吸附 / 冷凝式）

不靠排气，而是把气体吸附、冷凝、埋在泵内。极限真空最高，但不能连续抽大量气体。

常见：

低温泵（冷凝泵，10⁻8 Pa 级别）

吸附泵（分子筛、活性炭）

离子泵（溅射离子泵）

升华泵、钛泵

特点：

无油、超高真空

气体不排出，只是被 “抓住"，达到极限后需要再生 / 除气。

那么问题来了

变容积式干式真空泵，极限真空最高的是哪一种泵？

答：干式多级罗茨泵。