一、基础信息

• 型号：BR‑71‑6.35

• 产品类型：背压阀（精密恒压阀 / 压力溢流阀）

• 接口：6.35 mm（1/4" VCR）

• 系列：71 系列 UHP 超高纯背压阀

• 定位：半导体气路管路恒压、超压溢流、压力保护、稳压控制，用于特气柜、MFC 后端、反应腔体、SiC/GaN 精密工艺

二、型号含义

• BR：Back Pressure Regulator 背压阀

• 71：71 标准阀体，VCR 接口、低死区、EP 电解抛光，UHP 洁净结构

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4" VCR）

三、核心结构特点

1. 膜片式背压控制结构，维持上游管路恒定压力，压力过高自动泄压溢流

2. 全金属接液，低死区、低发尘、低金属析出，适配超高纯 / 腐蚀性气体

3. 哈氏合金膜片，耐 HCl、HI、HF、WF₆等强腐蚀特气

4. 可稳定维持管路压力，保护腔体、MFC、传感器不超压

5. 顶部旋钮可精准设定压力，带锁紧结构，防止误调

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

• 膜片：哈氏合金 C‑22

• 阀芯 / 阀座：SUS316L + PCTFE 软密封

• 接口：1/4" VCR 公母头

五、关键技术参数

• 最大耐压：1.0 MPa

• 设定压力范围：常规 0–0.4 MPa（可定制量程）

• 稳压控制精度：±1% FS

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 泄漏等级：阀座零泄漏，外漏极低

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

典型应用

1. CVD、刻蚀、ALD 设备腔体上游恒压控制

2. MFC 后端稳压、防止压力波动影响流量精度

3. 特气柜支路超压保护、溢流泄压

4. SiC/GaN 第三代半导体精密工艺管路恒压