TORAY东丽 氧化锆 EtherCAT 氧浓度计
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TORAY东丽 氧化锆 EtherCAT 氧浓度计
TORAY东丽 氧化锆 EtherCAT 氧浓度计
东丽 TORAY LD-600/SD 氧化锆 EtherCAT 氧浓度计

一、测量原理

二、核心特点

1. EtherCAT 高速通信，无缝集成工业网络

• 采用EtherCAT I/F（ETG 5003.1/5003.2 兼容），支持 CoE、FoE 协议，实时数据传输≤1ms，可直接接入 PLC、MES、APC 系统，满足智能工厂网络化、高速化需求。

• 对比传统 RS-232/4-20mA，抗干扰更强、传输距离更远、布线更简洁。

2. 分体式超薄设计，安装灵活省空间

• 传感器（SD）直插真空腔 / 管道，转换器（LD-600）超薄壁挂（185×155×40mm），**2 米标准线缆（最长 10 米）** 连接，远离高温 / 高湿 / 干扰区。

• 传感器接口：NW16/NW25/NW40 真空法兰（SD16NW/SD25NW/SD40NW 可选），适配多数真空设备。

3. 超宽量程 + 超高精度，ppb 级稳定测量

• 测量范围：0.001ppm（ppb）～100vol% O₂；氧分压显示10⁻²⁰～10⁰ atm，支持自动 / 固定量程切换。

• 重复性：≥1% 量程时 ±0.5% FS；＜1% 量程时 ±1.0% FS 或 ±0.1ppm（取大值）。

• 气点稳定性：±1% FS/24 小时，长期漂移极小。

4. 超快响应 + 低延迟，实时捕捉浓度波动

• 预热时间：≤6 分钟。

• 响应时间：≤1 秒（单独传感器），远快于传统分析仪，适合动态气氛监控。

5. 高耐用性 + 长寿命，适配严苛工况

• 传感器采用特殊抗污染涂层 + 内置保护机制，抗腐蚀、抗粉尘，适配真空、惰性气体、微量氧长期连续运行，寿命较传统型号提升 30%+。

三、技术参数（总览）

四、典型应用

• 半导体行业：真空镀膜、溅射、刻蚀、外延设备氧浓度实时监控。

• 真空设备：真空炉、退火炉、密封腔体、分子泵机组微量氧检测。

• 惰性气氛：手套箱、焊接保护气、金属 3D 打印舱、高纯氮气 / 氩气中氧监测。

• 工业自动化：智能工厂、工业 4.0 产线需EtherCAT 总线集成的氧浓度控制场景。