EBARA 荏原 EV-A10

机型定位：多级罗茨 风冷无油干式真空泵；无油洁净，杜绝油雾污染光学胶、导电浆料。

完整技术参数

表格

核心优势

1. 全干式无油无润滑油腔体，不会产生油蒸汽返流，适配 UV 光学胶、环氧、银浆、荧光硅胶等高洁净要求物料；严禁替代使用旋片油式泵。

2. 风冷免水冷实验室 / 产线布置简单，无需水路改造。

3. 大气抽速大腔体快速到达目标负压，缩短搅拌脱泡循环节拍。

4. 连续运转稳定支持 24 小时长时间工作，适配小批量连续生产工况。

5. 可选气镇阀物料含有溶剂、水汽时开启气镇，防止可凝物质污染泵内部。

EV-A 系列同型号横向简易选型

• EV-A03：250 L/min，微型，适配极小腔体设备

• EV-A06：600 L/min，适配 SK-300TVS-A 备选（节拍略慢）

• EV-A10：1000 L/min，写真化学 300/350 真空机型原厂推荐

典型应用场景

光学封装胶、半导体底部填充胶、导电银浆、导热凝胶、锂电池浆料、陶瓷浆料、透明环氧树脂等不允许油污污染的真空搅拌脱泡工艺。