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TORAY东丽 氧化锆氧气表 传感器 + 转换器
产品简介:

TORAY东丽 氧化锆氧气表 传感器 + 转换器
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:LD-450/SD传感器

更新时间:2026-05-13

厂商性质:经销商

访问量:35

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产品介绍

TORAY东丽 氧化锆氧气表 传感器 + 转换器TORAY东丽 氧化锆氧气表 传感器 + 转换器
东丽 TORAY LD-450/SD 氧化锆氧气表(传感器 + 转换器)

LD-450/SD是日本东丽(TORAY)推出的分体式氧化锆氧分析仪,由SD 直插传感器LD-450 壁挂转换器组成,专为真空 / 惰性气氛设计,覆盖ppb~100% O₂超宽量程,广泛用于半导体、真空镀膜、手套箱、金属 3D 打印等高精度氧含量监测场景。

一、测量原理

采用氧化锆浓差电池原理:高温下氧化锆陶瓷仅允许氧离子通过,传感器两侧(样气 / 空气参考侧)氧分压差异产生电压信号,转换器将信号换算为氧浓度 / 氧分压显示。

二、核心特点

  1. 分体式设计,安装灵活

    • 传感器(SD)直插真空腔 / 管道,转换器(LD-450)壁挂,2 米标准线缆(最长 10 米)连接,节省空间且远离高温 / 干扰区。

    • 传感器接口:NW16/25/40 真空法兰R3/8 螺纹,适配多数真空设备。

  2. 超宽量程,高精度

    • 测量范围:0.001ppm(ppb)~100vol% O₂,支持自动 / 固定量程切换;氧分压显示10⁻²⁰~10⁰ atm

    • 重复性:≥1% 量程时 **±0.5% FS**;<1% 量程时 **±1% FS 或 ±1ppm(取大值)**。

  3. 超快响应,低延迟

    • 预热≤6 分钟;响应时间 **≤1 秒 **(单独传感器),实时捕捉氧浓度波动。

  4. 高耐用性,长寿命

    • 传感器特殊涂层 + 内置保护机制,抗污染、抗腐蚀,适配长期连续运行。

  5. 丰富输出,易集成

    • LD-450-T:4-20mA 模拟输出+2 点浓度报警 + 1 点异常触点。

    • LD-450-C:RS-232C 串口通信(D-sub 9 针),可对接上位机。

三、技术参数(总览)

参数规格
型号LD-450(转换器)+ SD(传感器)
测量原理氧化锆浓差电池
测量范围0.001ppm~100vol% O₂;10⁻²⁰~10⁰ atm
重复性±0.5% FS(≥1%);±1% FS 或 ±1ppm(<1%)
响应时间≤1 秒(传感器)
预热时间≤6 分钟
样气条件压力:10⁻³Pa~200kPa;温度:0~100℃;湿度:露点<环境温度
传感器接口NW16/25/40 法兰或 R3/8 螺纹
连接线缆标准 2 米(最长 10 米)
输出选项T 型:4-20mA + 报警;C 型:RS-232C
供电DC24V,2A;功耗 60VA(稳定 15VA)
尺寸 / 重量转换器:185×155×40mm,1.2kg;传感器:约 100mm 长,0.5kg

四、典型应用

  • 半导体:真空镀膜、溅射、刻蚀设备氧监测。

  • 真空设备:真空炉、退火炉、密封腔体氧含量控制。

  • 惰性环境:手套箱、焊接保护气、金属 3D 打印舱氧监控。

  • 工业过程:高纯气体、保护气氛、管道微量氧检测。

















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