Edwards/爱德华 高性能干式真空泵 iXH 系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

Edwards/爱德华 高性能干式真空泵 iXH 系列
Edwards/爱德华 高性能干式真空泵 iXH 系列

一、核心定位

• 品牌背景：英国 Edwards（爱德华），真空技术百年积淀，半导体干泵**。

• 应用场景：半导体（刻蚀 / 沉积 / ALD / 外延）、FPD、LED、光伏、化合物半导体（GaN）、高 k / 低 k 介电层制程，强腐蚀、含粉尘、大流量氢气工况优选。

• 核心价值：无油洁净、极限真空高、耐工况、智能低维护、低 TCO，解决传统干泵在严苛制程下寿命短、易故障、能耗高的痛点。

二、主流型号与关键参数

• 组合机型：可配罗茨增压泵（如 iXH500H/3000），抽速达 3000 m³/h，极限真空＜5×10⁻³ mbar，适配大腔体、快速抽气场景。

三、工作原理与核心技术

• 工作原理：多级干式螺杆结构，双螺杆同步反向旋转，形成密闭腔室，逐级压缩气体并排出，全程无油接触，实现洁净真空。

• 核心技术亮点：

• Gas Buster™技术：很强粉尘处理能力，可处理高浓度粉尘与副产物，防止泵腔堵塞，延长寿命。

• XCEDE 防腐技术：4 倍于前代的耐腐蚀性，适配 HF、HCl、Cl₂等强腐蚀气体，适配刻蚀 / 沉积等严苛制程。

• 宽温域热管理：温度可调范围大，优化泵体温度，减少冷凝与副产物沉积，提升稳定性。

• 创新密封技术：非接触式长效密封 + 五合一吹扫系统，隔离腐蚀气体与齿轮箱，降低泄漏风险，延长维护周期。

• 智能控制（Green Mode）：待机节能模式，能耗降低 10%，支持远程监控、自动启停、故障诊断，兼容 SEMI E54 标准。

四、核心优势

1. 耐严苛工况：XCEDE 防腐 + Gas Buster 粉尘处理，强腐蚀、高粉尘、大流量氢气环境稳定运行，寿命较普通干泵延长 50%。

2. 高效低能耗：较前代能耗降低 10%，Green Mode 待机节能，适配 CVD 等大流量制程，降低运营成本。

3. 高真空高抽速：极限真空达 **＜5×10⁻³ mbar**，抽速覆盖 100–1210 m³/h，可组合增压泵，满足快速抽气与高真空需求。

4. 长周期低维护：密封寿命长、吹扫系统防沉积，维护周期≥8000 小时，减少停机时间，降低 TCO。

5. 紧凑易集成：模块化设计，可堆叠安装，占地面积减少 30%；单控制器管理多泵，支持 RS-485/Modbus，适配工厂 MES 系统。

五、典型应用

• 半导体刻蚀：硅刻蚀、氧化物刻蚀、金属刻蚀，处理含氟 / 氯腐蚀气体与粉尘。

• 薄膜沉积：PECVD、LPCVD、ALD、SACVD、高 k / 低 k 介电层沉积，大流量氢气与前驱体抽取。

• 化合物半导体：GaN 外延、MOCVD 制程，耐高温、抗氨腐蚀。

• 平板显示（FPD）：OLED、LCD 制程，大腔体快速抽气与稳定真空控制。

• 光伏 / LED：扩散、PECVD、刻蚀制程，处理粉尘与腐蚀性气体。