SP1产品介绍

SP1（ULVAC 爱发科 G‑TRAN 系列 皮拉尼真空计）

一、核心特点

1. 一体紧凑型（传感器 + 电路）

• 无需独立显示单元，直接输出 0–5V 信号给 PLC / 上位机，省配线、省面板空间、降成本。

• 探头可更换，兼容老款 WP 系列，维护方便、兼容性强。

2. 铂金灯丝・耐腐蚀长寿命

• 灯丝材质：Pt 铂金，耐水汽、耐轻微腐蚀，适合工业 / 半导体工艺环境。

3. 双设定点 + 报警输出

• 两路集电极开路输出（负逻辑），可设高 / 低真空阈值，直接联动泵、阀门、报警灯。

4. LED 状态指示

• 面板 LED：电源、错误、设定点 1、设定点 2，现场直观判断状态。

5. UL‑MOBI 软件支持（USB‑C）

• 可通过 USB‑C 连 PC，用软件校准、读数据、设参数。

二、关键技术参数

• 型号：SP1（G‑TRAN 系列 传感器单元）

• 测量范围：0.4 Pa ～ 3000 Pa（3×10⁻³ ～ 22 Torr）

• 精度（N₂）

• 51～760 Pa：±15%

• 10～1000 Pa：±30%

• 0.4～3000 Pa：±50%

• 输出信号：0–5VDC（非线性，最大 10V），分辨率 10mV

• 设定点：2 路，集电极开路（负逻辑），含错误信号

• 供电：DC24V ±10%，稳态 2.0W，启动 4.8W

• 探头兼容：WP‑01（R1/8）、WP‑02（NW16）、WP‑03（φ15）、WP‑16（NW16）

• 接口：D‑sub15（I/O）+ USB‑C（通讯 / 校准）

• 材质：接液部 SUS304；灯丝 Pt；外壳压铸铝

• 尺寸 / 重量：约 48×30×74 mm / 约 105 g

• 环境：10–40 ℃，湿度 15–80%（无凝露），IP30

• 认证：CE、UKCA

三、型号与探头组合（常用）

• SP1 + WP‑02：标准 NW16 接口，常用

• SP1 + WP‑01：R1/8 螺纹接口

• SP1 + WP‑03：φ15 卡套接口

• SP1 + WP‑16：NW16（同 WP‑02）

四、典型应用

• 半导体 / FPD：EFEM、小型腔体、真空搬运、低真空工艺控制。

• 工业真空：真空炉、热处理炉、真空包装机、回流焊炉。

• 电子 / 精密：真空烤箱、检漏设备、镀膜机低真空段监测。

• 多腔设备：inline 式、枚叶式设备的多腔体压力监控。