ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 通过将泵体均匀加热到高温范围， 该泵能够以气态排出 CVD、蚀刻等过程中产生的可升华废气物质。

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ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 “LS 型”是一款螺杆式干式真空泵。传统上，提高抽速需要消耗大量功率，但这款干式真空泵通过独特研发的螺杆形状和节能技术的结合，实现了高速抽气和低功耗的双重目标。该系列共有四款型号，您可以根据设备尺寸、运行条件和应用场景选择最佳抽气能力的真空泵。