EBARA荏原真空泵介绍

一、品牌核心优势

1. 无油干式结构：无油污染，真空洁净度高，满足半导体 SEMI‑S2、CE、NRTL 行业标准

2. 耐腐蚀能力强：标配 / 可选 Ni‑Resist 耐蚀材质，适配 HCl、HI、氟化物、氯气等强腐蚀气体，适配碳化硅 SiC、化合物半导体工艺

3. 节能稳定：专属转子设计 + 怠速休眠模式，同级别节能 30%+，50/60Hz 频率下抽气性能一致

4. 低振动低噪音：无接触式转子，振动小、噪音低，适配精密实验室、产线

5. 全系列覆盖：从小型风冷泵到大型水冷螺杆泵，抽速 50~80000L/min 全覆盖

二、主流产品系列（干式真空泵，核心型号）

1. EV‑SA 系列（小型风冷罗茨干泵，轻制程优选）

• 代表型号：EV‑SA20

• 特点：风冷无需水冷、无接触免维护、高水汽耐受、超小型、低能耗、内置智能控制器

• 抽速：200~2000L/min

• 应用：Load‑Lock、PVD、SEM、分析仪器（LC‑MS/GC‑MS）、实验室、小型半导体设备

2. ESR 系列（紧凑型节能干泵，耐腐蚀）

• 代表型号：ESR20N、ESR30N、ESR500W

• 特点：小型占地、低功耗、可选耐蚀材质、适配轻负载～中腐蚀工艺

• 抽速：500~5000L/min

• 应用：Load‑Lock、离子注入、轻腐蚀刻蚀、半导体辅助真空、科研设备

3. EV‑X 系列（中高模块化干泵，新一代主力）

• 特点：宽温域控制、模块化设计、长维护周期、抗腐蚀、适配多工艺通用、TCoO 使用成本低

• 应用：半导体刻蚀、CVD、灰化、离子注入、外延工艺、SiC 碳化硅产线

4. EV‑M 系列（罗茨干式泵，中大型半导体主力）

• 代表型号：EV‑M20N、M102N、M202N、M302N、M502N

• 抽速：1800~50000L/min

• 特点：极限真空≤5Pa，强耐氟 / 氯腐蚀，水冷稳定

• 应用：刻蚀、CVD、薄膜沉积、半导体核心制程

5. ESA 系列（大流量螺杆干泵，大型腔体 / 光伏 / MOCVD）

• 代表型号：ESA15‑D、ESA25‑D、ESA70W、ESA300W、ESA700W

• 抽速：1400~80000L/min

• 特点：大抽速、快速抽空、适配氢气 / 轻气体、有机溶剂排气、低振动

• 应用：MOCVD、大型 Load‑Lock、LCD 溅射、光伏、真空干燥、外延设备

三、核心技术与材质

1. 转子类型：罗茨式（中小抽速）、螺杆式（大抽速），无接触无磨损

2. 耐蚀材质：Ni‑Resist 镍基耐蚀铸铁、特殊涂层，适配氯化氢、碘化氢、碘蒸气等 SiC / 第三代半导体强腐蚀气体

3. 冷却方式：风冷（小型）、水冷（中大型）

4. 极限真空：0.5~5Pa，满足半导体超高洁净真空要求

四、主要应用行业 & 工艺

1. 半导体（核心）：刻蚀、CVD/PVD、离子注入、外延、退火、Load‑Lock、SiC 碳化硅、化合物半导体

2. 新能源光伏：MOCVD、薄膜沉积、真空镀膜

3. 化工精密制造：腐蚀性气体抽取、真空干燥、溶剂回收

4. 科研 / 分析：电子显微镜、质谱仪、真空镀膜、空间模拟

五、对比优势（对标莱宝、爱德华）

• 荏原：日系稳定、耐腐蚀性更强、适配 SiC / 腐蚀工艺更优、维护周期更长

• 爱德华 / 莱宝：欧美主流，通用性强，但腐蚀工况荏原适配性更好