日本MIYUKI美幸辉 GH 二段式气动真空闸阀
通过优化执行器的位置，我们实现了整体尺寸的减小。
它具有出色的抗反向压力密封性能。

日本MIYUKI美幸辉  GH  二段式气动真空闸阀
日本MIYUKI美幸辉  GH  二段式气动真空闸阀

✅ 核心特点

1. 二段行程结构第一段：闸阀小幅提升（预抽位置），缓慢抽气、平衡压差；第二段：闸阀提起，大流导高速抽气；需要两路独立气路控制，可单独控制预抽段。

2. 等间距滚珠压紧密封机构，双向逆压密封可靠

3. 真空钎焊 SUS 阀体、低放气，洁净室组装检漏，低粒子

4. 阀板升降过程非接触，只有压紧闭合时才贴合阀座，粉尘少

5. 3 点微动开关反馈：全闭 / 预抽中间位 / 全开（G 系列只有两点）

6. 气缸自带末端气缓冲，开关冲击小

📌 基础规格

• 口径：70A ～ 500A

• 法兰：JIS / ISO / CF（⚠️ GH无 KF 法兰版本）

• GH-Jxx：JIS 法兰

• GH-Ixx：ISO 法兰

• GH-Cxx：CF 超高真空法兰

• 压力区间：10⁵ Pa ～ 10⁻⁶ Pa

• 泄漏率

• 阀体本体：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s

• 阀座密封：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 驱动气源：0.4～0.6 MPaG

• 接气材质：标准 SUS304，可选 SUS316L

• 密封：标准 FKM 氟橡胶 O 圈；可选 FFKM 全氟醚

• 控制：双气路驱动，实现两段独立动作

📋 型号示例

GH-J70、GH-I100、GH-I160、GH-C100、GH-I250、GH-I400、GH-I500

🏭 典型应用

PVD、CVD、真空炉、锂电粉体工艺、冻干、OLED 镀膜；腔体容积大、腔体内有粉末 / 易溅料，直接全开抽气会造成扬尘、工艺破坏的场景优先 GH