MIYUKI美幸辉 G 系列 标准型气动真空闸阀
通过优化执行器的位置，我们实现了整体尺寸的减小。
它具有出色的抗反向压力密封性能。

MIYUKI美幸辉 G 系列 标准型气动真空闸阀
MIYUKI美幸辉 G 系列 标准型气动真空闸阀

✅ 核心特点

1. 等间距滚珠压紧密封机构，正向、反向背压密封可靠，逆压工况稳定性远优于普通闸阀

2. 气缸结构优化：关阀推力倍增 + 行程末端内置气缓冲，开关冲击小、密封压紧力充足，寿命更长

3. 阀体为不锈钢抛光板真空钎焊成型、低放气、低析出，洁净室组装检漏

4. 阀板动作非接触：仅压紧密封阶段才接触阀座，行程中无摩擦，粉尘生成少

5. 机身短，节省管路空间；两位动作，只有全开↔全关，无中间停留、无预抽慢开（GH 才是二段中间位）

6. 标配微动开关，开 / 关两点位置反馈

📌 基础规格

• 口径：40A ～ 500A（覆盖范围比 L 系列大很多）

• 法兰齐全：JIS / ISO / KF(NW) / CF（L 系列无 KF、CF）

• G-Jxx：JIS 法兰

• G-Ixx：ISO 法兰

• G-Nxx：KF 快卸法兰

• G-Cxx：CF 超高真空法兰

• 压力区间：10⁵ Pa ～ 10⁻⁶ Pa

• 泄漏率

• 阀体本体：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s

• 阀座密封：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 轴密封：≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s

• 驱动气源：0.4～0.6 MPaG

• 接气材质：标准 SUS304，可选 SUS316L

• 密封：标准 FKM 氟橡胶 O 圈；可选 FFKM 全氟醚（耐腐蚀、高温）

• 关键区别 L 系列：允许开启压差更大，不强制要求两侧压差降到很低再开阀，压差波动场景更稳

📋 型号示例

G-J40、G-I100、G-N63、G-C100、G-I200、G-J300、G-I500

典型应用

半导体 PVD/CVD/ 刻蚀、OLED、光伏镀膜、真空炉、大型冻干设备主抽阀；腔体两侧压差不稳定、需要可靠背压密封、设备 24h 连续量产场景优先选 G