MIYUKI美幸辉 BJ4 伺服电机驱动真空蝶阀
BJ4系列电动蝶阀是高性能、多功能伺服电机驱动阀，适用于全关闭和导流控制。它们
提供多种操作模式，包括阀瓣（阀体）的全关闭和全开启、定位到任意所需位置以及可变的开启和关闭速度。

MIYUKI美幸辉 BJ4 伺服电机驱动真空蝶阀
MIYUKI美幸辉 BJ4 伺服电机驱动真空蝶阀

核心特点

1. 搭载三菱 MR-J4 AC 伺服电机 + 高精度减速齿轮头，开度定位重复性高；0～90° 任意位置停留，开关速度可编程可调

2. 压差工况可直接启动：真空 ↔ 大气压压差下也能平稳开启，不卡滞（很多国产电动调节阀做不到）

3. 超薄面间阀体，流导大；无安装姿态限制

4. 标配外部角度指示面板，肉眼直观查看当前开度

5. 洁净室组装检漏，低析出，半导体真空工艺规格

6. 阀片 + 阀轴双 O 圈密封；全关时可以可靠密封隔断，不是单纯节流阀

📌 基础规格

• 口径：25A ～ 250A

• 法兰选项：JIS / ISO / KF(NW) / CF

• BJ4-Jxx：JIS 法兰

• BJ4-Ixx：ISO 法兰

• BJ4-Nxx：KF 快卸法兰

• BJ4-Cxx：CF 超高真空法兰

• 压力区间：10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa

• 泄漏率：内漏 ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s；轴外漏 ≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

• 接气材质：标准 SUS304，可选 SUS316L

• 密封：标准 FKM 氟橡胶 O 圈；可定制全氟醚 Kalrez

• 驱动：三菱 MR-J4 伺服电机

• 可选配件：开 / 关检测光电传感器（位置反馈）株式会社美...

📋 型号示例

BJ4-J40、BJ4-I80、BJ4-I100、BJ4-N63、BJ4-C100、BJ4-I200、BJ4-J250

🏭 典型应用

PVD、CVD、刻蚀设备腔体压力闭环控制、镀膜机真空稳压、真空炉压力调节、冻干工艺真空精细控压、需要 PLC 自动调节流导的高真空管路