日本MIYUKI美幸辉 BH 二段式气动真空蝶阀
该阀门可在两个位置操作：0 至 45 度和 90 度（打开），从而允许使用单个阀门进行慢速和高速排气。

日本MIYUKI美幸辉 BH 二段式气动真空蝶阀
日本MIYUKI美幸辉 BH 二段式气动真空蝶阀

✅ 核心原理与特点

1. 双气缸二段结构第一段：0～45° 慢开（慢排气、预抽、缓慢升压，开度可调）第二段：45°～90° 快速全开，大流导高速抽气 可以独立控制两段气路，工艺上 “先预抽、再全开"

2. 阀体同样超薄面间、齿轮齿条驱动，流导优秀；无安装方向、姿态不限

3. 气缸自带末端气缓冲，开关冲击低；洁净室组装检测，半导体级洁净

4. 密封：FKM 氟橡胶 O 圈；全关密封可靠，耐压差

5. 标配3 点微动开关反馈：全闭、中间 45° 位置、全开（B 系列只有两点反馈）

📌 基础规格

• 口径：25A ～ 400A

• 法兰可选：JIS / ISO / KF(NW) / CF

• BH-Jxx：JIS 法兰

• BH-Ixx：ISO 法兰

• BH-Nxx：KF 快卸法兰

• BH-Cxx：CF 超高真空法兰

• 压力范围：10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa

• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s

• 驱动气源：0.4～0.6 MPaG

• 阀体材质：SUS304（可选 SUS316L）

📋 型号示例

BH-J25、BH-J50、BH-I80、BH-I100、BH-N40、BH-C63、BH-C100

🏭 典型应用场景

半导体 PVD / 刻蚀、真空镀膜、OLED、锂电、冻干机、粉末冶金、真空炉、粉体真空输送；腔体大容积、直接抽气容易冲料、喷溅的工况优先选 BH