DIC迪爱生 耐溶剂 / 强腐蚀药液专用内灌流
PF-F = PF 内灌流 + 全 PTFE 接液，DIC SEPAREL 里专门针对强酸、强碱、有机溶剂的脱气模组；液体走中空纤维膜丝内腔，膜外侧抽真空；支持反向冲洗再生

DIC迪爱生 耐溶剂 / 强腐蚀药液专用内灌流
DIC迪爱生 耐溶剂 / 强腐蚀药液专用内灌流

✅ 核心特点

1. 接液材质全部 PTFE（氟树脂）膜丝、壳体内部、密封件全氟材质，极低金属溶出，半导体药液制程优选

• 耐受：浓酸、浓碱、IPA、NMP、各类显影液、剥离液、光刻胶、稀释剂、酮类、酯类有机溶剂

• 功能：脱除液体中溶解 O₂、CO₂至 ppb 等级；也可反向做溶气（溶 N₂/H₂）

2. 内灌流结构，可反向冲洗膜面有颗粒污染时，反向通液冲洗，恢复性能，适合含微量固体颗粒的药液

3. 通用基础规格

• 耐压：0.294 MPa（≈0.3 MPa），微型款 PF-3T-S-F 耐压 0.2 MPa

• 最高使用温度：40℃

• 原理：中空纤维致密 PTFE 膜，只透气、不透液体

✅ 典型行业应用

1. 半导体湿法（主力场景）光刻胶、显影液、剥离液、蚀刻配套药液脱泡，减少晶圆气泡缺陷；低金属析出，满足高纯药液

2. LCD / 显示面板各类光阻、剥离、清洗有机溶剂脱气

3. 特种工业喷墨溶剂型、强腐蚀性墨水脱气

4. 精细化工、分析仪器强腐蚀试剂脱气

✅ 选型提示

• 流体含 NMP、IPA、浓酸浓碱、光刻 / 剥离药液 → PF-F

• 纯水、弱碱弱酸，无有机溶剂，需要反冲维护 → PF-D

• 水性墨水、表面活性剂，追求低压损，无强溶剂 → EF 系列