韩国TK-FUJIKIN 双功能隔膜阀 STD 标准型
两段式 / 双流量气动隔膜阀），PSDVN 系列 STD 标准型，半导体 UHP 超高纯低压气动金属隔膜阀，行业俗称双功能隔膜阀。

韩国TK-FUJIKIN 双功能隔膜阀 STD 标准型
韩国TK-FUJIKIN 双功能隔膜阀 STD 标准型

✅ 核心原理（双功能含义）

普通隔膜阀只有全开 / 全关；双功能阀两段行程：

1. 第一段：预开（小流量吹扫）：先导小开度，微量吹扫、缓慢升压，避免冲击、减少颗粒

2. 第二段：全开启（大流量供气）：继续供给驱动气压，阀门打开，正常工艺供气同一支阀实现吹扫 + 供气两个动作，省去 2 个独立阀门，简化气路、减少泄漏点，是半导体特气柜（Gas Box）常用方案。

📌 STD 标准型 基础规格

1. 系列代号：PSDVN（PS=Pneumatic Dual flow；DVN=Diaphragm Valve Normal）

2. 阀体材质：316L VAR 不锈钢

3. 隔膜片：镍钴合金（Ni-Co Alloy，UHP 高纯金属隔膜）

4. 阀座：PCTFE / PI / PFA

5. 执行器：铝合金气动驱动头；标准为NC 常闭 C 型，NO 常开为定制

6. 内表面抛光等级（可选）

• AP：酸洗钝化

• BA：光亮退火

• EP：电解抛光（半导体主流）

7. 口径（标准型常用）：1/4"、3/8"、1/2"

8. 接口形式

• VF：VCR 母头；VM：VCR 公头；BW：自动焊；UJR 可选

9. 最大工作压力：低压型，最高约 10bar（以型号后缀为准）

10. 泄漏等级：He 检漏 ≤1×10⁻¹⁰ atm・cc/sec，SEMI 标准；低死体积、低析出（H₂O/O₂/ 碳氢），低发尘

11. 标记：激光打码，材质可追溯，附带材质钢厂证书

🧾 型号编码示例

S4PSDVN-VF-C-P

• S4：阀体规格

• PSDVN：双流量双功能隔膜阀系列

• VF：VCR 母头

• C：NC 常闭（STD 标准）

• P：EP 电解抛光

🛠️ 应用场景

• 半导体：特气柜、IGS 集成供气面板、工艺气体管路，惰性 / 腐蚀性特种气体（Ar、N₂、SiH₄、NF₃、HCl 等）

• FPD 面板、光伏高纯气体输送

• UHP 超高纯流体系统，需要预吹扫 + 工艺供气一体化回路