Osaka大阪真空 TG‑M 磁悬浮涡轮分子泵
磁悬浮轴承复合分子泵（涡轮 + SGP 螺旋槽），无油、无机械接触，TG 系列主力，抽速范围 340～2400 L/s(N₂)，半导体 UHV、刻蚀沉积、精密分析设备优选

Osaka大阪真空 TG‑M 磁悬浮涡轮分子泵
Osaka大阪真空 TG‑M 磁悬浮涡轮分子泵

✅ 基础原理与核心优势

• 转子电磁悬浮，无机械轴承、无油脂，零摩擦磨损，无油污染风险

• SGP 复合结构：涡轮叶片 + 螺旋槽，兼顾分子流 + 粘滞流，允许更高前级背压

• 开机自动传感器校准，支持转速可调，匹配不同工艺气体负载

• 通讯：RS232C，支持上位机监控、报警、维护预警；符合 SEMI‑S2、CE、NRTL 安全规范

• 冷却：中小型号风冷，大抽速水冷

✅ 典型应用

• 半导体：刻蚀、PVD/CVD、离子注入、晶圆处理

• 分析仪器：SEM、AES、XPS、质谱、电子枪 / 离子源排气

• 科研：加速器、核聚变、宇宙环境模拟、射线装置

• FPD、光学镀膜、精密表面改性

✅ 配套控制器

TG-M 全部需要独立磁悬浮控制器，泵体与控制器之间可长电缆连接（最长约 200m），方便机柜分离布局。

区分：TGkine 系列虽然也是磁悬浮，但属于独立大流量工艺产品线，不属于 TG-M 本体系列，PVD 大载气场景选用 TGkine。

✅ 选型要点

1. 腐蚀工艺 → TG-MS；超高真空低放气 → TG-ML；纳米精密测量低振 → TG-MR；强磁场 → TG-MM

2. 前级泵选型：干泵 / 旋片泵，维持前级压力低于泵允许最大背压（400~500Pa）

3. 工艺有突发大气冲击、设备会运动摇摆 → 优先 TG-F，不推荐 TG-M

4. 洁净无油、长寿命、半导体工艺，优先 TG-M