Osaka大阪真空 脂润滑滚珠轴承型涡轮分子泵
脂润滑滚珠轴承型涡轮分子泵（Ball bearing Turbo Pump），大阪真空经典主力机型，1999 年上市，排气速度 50～2400 L/s，区别于磁悬浮 TG-M 系列，TG-F 采用滚珠轴承 + 长效润滑脂结构

Osaka大阪真空 脂润滑滚珠轴承型涡轮分子泵
Osaka大阪真空 脂润滑滚珠轴承型涡轮分子泵

✅ 核心结构与特点

1. 滚珠轴承 + 预封入长效润滑脂

• 出厂一次性封脂，运行中无需补脂，大修周期：20,000～30,000 小时

• 机械滚珠轴承，耐冲击、抗振动强，允许设备移动、运动机构搭载

• ✅ 安装姿态无限制，倒立运行也支持，设备布局自由度高株式会社大...

2. 大气冲击耐受强机型经过数百次大气冲入验证，意外破真空不容易直接损坏转子，适合半导体、分析设备现场工况

3. 控制器两种形态

• 一体型：泵体自带驱动（TGxxF）

• 分离型：独立控制器 TC 系列（TGxxF-20）支持串口通讯，满足 SEMI‑S2、CE、NRTL 安全规范

4. 轻量化紧凑机身，启动快，功耗低

✅ 典型应用领域

• 半导体制造：电子枪排气、离子源、刻蚀 / 沉积配套高真空

• FPD 面板、光学镀膜、表面改性

• 分析仪器：SEM、X 射线、质谱设备

• 加速器、核聚变、射线研究装置

• 热处理、真空检测、小型真空腔体

• ✅ 选型要点

• 前级（辅助泵）：必须搭配旋片泵 / 干泵，维持前级压力低于泵允许的最大背压（典型 260Pa）

• 工艺介质：普通氮气、惰性气体选 TG-F；含卤素、酸性腐蚀气体改用 TG-M 化学型

• 震动 / 移动设备：优先 TG-F；强磁场场景选用 TG-FS

• 维护：脂润滑有固定寿命周期，到期需要返厂大修更换轴承；磁悬浮 TG-M 无轴承磨损