FITOK飞托克 DK 系列｜高温隔膜阀
FITOK 飞托克 DK 系列高温隔膜阀｜热浸没整体耐高温 250度，浸润全金属结构、金属阀座，无高分子析出，316L VIM-VAR，钴合金隔膜，Ra0.13μm EP 抛光，真空～145psig，支持阀位反馈，MOCVD、高温 MO 源前驱体管路专用阀。

FITOK飞托克  DK 系列｜高温隔膜阀
FITOK飞托克  DK 系列｜高温隔膜阀

✅ 核心特点

1. 热浸没一体化结构：整阀可置于 250℃高温环境，执行器同温，无需隔热段，适配加热管路、烘箱内阀组

2. 浸润面全金属材质、金属阀座，无 PFA/PCTFE 等高分子材料，消除高温下塑料溶胀、析出、老化问题

3. 无死区流道，颗粒生成少，极易吹扫，满足超高纯工艺

4. Elgiloy 钴合金隔膜，高温工况下强度稳定、耐腐蚀性强，长循环寿命

5. 浸润面 EP 电解抛光 Ra=0.13 μm（5 μin），可选 SEMI F20 316L VIM-VAR 阀体

6. 气动款支持 NC 常闭 / NO 常开；可选 PNP 位置传感器（DC10~30V）反馈阀位

7. 端口可选卡套、对焊、FR 金属面密封接头，适配高温管路焊接集成

📌 技术参数

表格

🧩 介质接触材质

• 阀体：316L SS / 316L VIM-VAR（SEMI F20）

• 隔膜：Elgiloy 钴合金 AMS5876

• 阀座：全金属阀座（无高分子材料）

🏭 行业应用 & 工艺场景

1. 半导体：MOCVD 金属有机气相沉积、高温前驱体输送管路

2. 高温超高纯特种气体、金属有机源（MO 源）供给系统

3. 高温气相管路、烘箱内置高纯阀组、高温薄膜沉积设备

4. 腐蚀性高温工艺介质分配系统

📋 型号编码示例

DK6LW-TB4-FR4-NC-S-CF3

• DK：DK 系列高温隔膜阀

• 6LW：316L VIM-VAR 阀体

• TB4：1/4" 卡套端口；FR4：金属面密封端口

• NC：常闭 / NO：常开

• S：位置传感器选项

• CF3：FC-03 超高纯清洗包装