FITOK飞托克 DR 系列｜低压中流量隔膜阀
FITOK 飞托克 DR 系列低压中流量隔膜阀｜Cv=0.7，无死区易吹扫，316L VIM-VAR，钴合金隔膜，Ra0.13μm EP 抛光，真空～145psig，PCTFE/PFA 阀座可选，支持阀位反馈、LOTO 锁，半导体特气柜中流量吹扫 / 供气关断阀。

FITOK飞托克 DR 系列｜低压中流量隔膜阀
FITOK飞托克 DR 系列｜低压中流量隔膜阀

✅ 核心特点

1. 无死区流道，易吹扫，低颗粒释放，全封闭阀座，抗介质溶胀、防污染，适配超高纯特气工况
   流量提升：Cv 最高 0.7，属于中流量规格，比 DQ/DP 大一档，适合吹扫、大流量供气支路

2. 钴合金 Elgiloy 隔膜（AMS5876），高强度、耐腐蚀性强，长循环寿命

3. 手动款：1/4 圈快速开关，手柄带可视观察窗，可选 LOTO 锁止（全开 / 全关双位置锁定）

4. 气动款：NC 常闭 / NO 常开可选；可加装 PNP 位置传感器（DC10~30V），反馈阀位信号

5. 浸润面 EP 电解抛光 Ra=0.13 μm；清洗等级 FC-01 标准 / FC-02 特殊 / FC-03 超高纯可选飞托克

📌 技术参数

表格

🧩 介质接触材质

• 阀体：316L SS / 316L VIM-VAR

• 隔膜：钴合金 Elgiloy AMS5876

• 阀座：PCTFE / PFA 二选一

🏭 行业应用 & 工艺场景

1. 半导体：特气柜主管、吹扫回路、气体分配盘大流量支路、晶圆制程高纯供气

2. 超高纯腐蚀性特种气体输送、惰性气体大流量吹扫

3. MEMS、真空镀膜、气相沉积设备中流量高纯管路

4. 实验室高纯气体分配系统

📋 型号编码示例

DR6LW-B4-B4-NC-S

• DR：DR 系列低压中流量隔膜阀

• 6LW：316L VIM-VAR 阀体

• B4：1/4" 卡套端口

• NC：常闭；NO = 常开（气动款）

• S：位置传感器选项后缀：-F2 FC-02 清洗 / -F3 FC-03 超高纯清洗

驱动区分：DRM = 手动；DRP = 气动