FITOK飞托克 DS 系列｜高压紧凑型隔膜阀
FITOK 飞托克 DS 系列高压紧凑型隔膜阀｜真空～4500psig（310bar），无死区无填料，316L VIM-VAR，钴合金隔膜，Ra EP 抛光，手动 / 气动可选，支持二阀三通阀块，半导体高压特气柜、高纯高压特种气体关断阀。

FITOK飞托克 DS 系列｜高压紧凑型隔膜阀
FITOK飞托克 DS 系列｜高压紧凑型隔膜阀

✅ 核心特点

1. 紧凑小型化设计，内部容积小、无死区，吹扫干净，颗粒生成少，适配小型集成阀组

2. 无填料结构，杜绝填料释放污染，满足超高纯气体应用；手动款操作扭矩小，开关轻松

3. 钴合金 Elgiloy 隔膜（AMS5876），高强度、耐腐蚀性强，长循环寿命

4. 零件数量少，维护便捷；气动款采用铝活塞，动作响应更快

5. 阀座全封闭设计，抗介质溶胀、防污染；可选 LOTO 带锁手柄，安全锁定

6. 浸润面 EP 电解抛光；支持 FC-01/FC-02/FC-03 超高纯清洗包装等级

7. 可提供二阀三通一体式阀块版本，减少管路接头，降低泄漏点

📌 技术参数

表格

🧩 介质接触材质

• 阀体：316L SS / 316L VIM-VAR

• 隔膜：钴合金 Elgiloy AMS5876

• 阀座：PCTFE / PFA（二选一）

🏭 行业应用 & 工艺场景

1. 半导体：高压特气气瓶柜、高压特种气体分配阀组，腐蚀性高压前驱体、特种工艺气体关断

2. 高压超高纯气体输送、实验室高压气相管路

3. 氢能、特种气体高压供气系统

4. MEMS、真空镀膜配套高压高纯管路

📋 型号编码示例

DS6LW-TB4-TB4-NC-S

• DS：DS 系列高压紧凑型隔膜阀

• 6LW：316L VIM-VAR 阀体

• TB4：1/4" 卡套端口

• NC：常闭；NO = 常开（气动款）

• S：位置传感器选项（PNP 3 线，DC10~30V）后缀：-F2 FC-02 清洗 / -F3 FC-03 超高纯清洗

驱动类型区分：DSM = 手动；DSP = 气动