FITOK飞托克 DP 系列｜低压气动隔膜阀
FITOK 飞托克 DP 系列低压气动隔膜阀｜无润湿螺纹无内置弹簧，无死区易吹扫，316L VIM-VAR，钴合金隔膜，Ra0.13μm EP 抛光，真空～250psig，PCTFE/PFA 阀座可选，支持位置反馈，半导体特气柜、高纯管路自动关断阀。

FITOK飞托克 DP 系列｜低压气动隔膜阀
FITOK飞托克 DP 系列｜低压气动隔膜阀

✅ 核心特点

1. 无死区、内部容积小，浸润流道无螺纹、无弹簧，大幅降低颗粒滞留，极易吹扫，适合超高纯工况FITOK

2. 全封闭阀座，抗介质溶胀、防污染；钴合金 Elgiloy 隔膜，耐腐蚀性强、长循环寿命，开关响应快

3. 金属对金属外密封，外漏控制优异；支持真空工况

4. 可选位置传感器（PNP 3 线 DC 10~30V），反馈阀门开 / 闭信号；常闭 NC / 常开 NO 执行器可选

5. 浸润面电解抛光 Ra=0.13 μm（5 μin），SEMI F20 材质可选

6. 清洗等级可选 FC-01 标准清洗 / FC-02 特殊清洗 / FC-03 超高纯清洗包装

📌 技术参数

表格

🧩 介质接触材质

• 阀体：316L SS / 316L VIM-VAR

• 隔膜：钴合金 Elgiloy

• 阀座：PCTFE / PFA 可选

🏭 行业应用 & 工艺场景

1. 半导体：特气柜、气瓶阀组、工艺支管自动切断、前驱体输送管路

2. 超高纯腐蚀性特种气体输送

3. 真空镀膜、MEMS、气相沉积配套高纯管路

4. 实验室高纯气体分配系统

📋 型号编码示例

DP6LW-B4-B4-NC-S

• DP：DP 系列低压气动隔膜阀

• 6LW：阀体结构 + 接头类型

• B4：1/4" 卡套端口

• NC：常闭（NO = 常开）

• S：带位置传感器选项后缀：-F2（FC-02）、-F3（FC-03 超高纯清洗）

DPX：DP 同结构，可现场更换阀座版本