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FITOK飞托克 DQ 系列｜低压手动隔膜阀
产品简介：

FITOK飞托克 DQ 系列｜低压手动隔膜阀
产品定位：半导体 / 超高纯特气系统手动隔膜阀，小容积无死区流道，高纯管路、气瓶柜、阀组箱常用手动关断阀

产品型号：DQ6L-TB6-3K-RF3

更新时间：2026-09-03

厂商性质：经销商

访问量：11

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产品介绍

FITOK飞托克 DQ 系列｜低压手动隔膜阀
FITOK飞托克 DQ 系列｜低压手动隔膜阀

✅ 核心特点

  1. 无死区、内部容积小，流道可吹扫，颗粒产生少，降低气体残留污染

  2. 全封闭阀座，抗溶胀、防介质污染

  3. 隔膜采用钴合金（Elgiloy），高强度、耐腐蚀，循环寿命长

  4. 阀体金属硬密封，外泄漏控制优异

  5. 手柄带可视观察窗，直观识别阀门开 / 关状态；多款式手柄可选，含带锁手柄

  6. 浸润面电解抛光 Ra=0.13 μm（5 μin），满足超高纯工艺

  7. 可选择 FC-01 标准清洗 / FC-02 特殊清洗 / FC-03 超高纯清洗包装等级

📌 技术参数

表格

项目参数
端口规格1/4" ~ 3/8"、6 mm ~ 8 mm
Cv 值0.27
内通径4.1 mm（0.16 in）
工作压力真空～17.2 bar（250 psig）
工作温度PCTFE 阀座：-23 ~ 80 ℃PFA 阀座：-23 ~ 150 ℃
氦泄漏率内漏≤1×10⁻⁹ std・cm³/s外漏≤1×10⁻⁹ std・cm³/s
阀体材质316L / 316L VIM-VAR（SEMI F20）

🧩 介质接触材质

  • 阀体：316L SS / 316L VIM-VAR

  • 隔膜：钴合金 Elgiloy

  • 阀座：PCTFE / PFA 二选一

🏭 行业应用 & 工艺场景

  1. 半导体：特气柜、气瓶阀组、工艺支线手动关断、前驱体管路

  2. 超高纯气体、腐蚀性特种气体输送

  3. 实验室气相系统、MEMS、真空镀膜配套管路

  4. 生物医药高纯流体、洁净工艺管路


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