DIAVAC大亚真空 真空阀、气动夹紧阀
广泛用于半导体、镀膜、各类高真空管路。

DIAVAC大亚真空 真空阀、气动夹紧阀
DIAVAC大亚真空 真空阀、气动夹紧阀

产品全称：气动夹紧式真空角阀（L 型气动真空阀）日本大亜真空（DIAVAC LIMITED）LCAV 系列，NW25 (KF25) 接口，广泛用于半导体、镀膜、各类高真空管路。基础规格

• 型号：LCAV-25

• 公称通径：DN25 / NW25（KF25）快拆法兰

• 流导：15 L/s

• 本体泄漏率：≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

• 允许阀座压差：0.1 MPa

• 驱动方式：气动（双作用气缸）

• 控制气源：搭配 5 通 2 位电磁阀驱动

• 阀体材质：SUS304 不锈钢

• 密封 O 圈：氟橡胶 FKM（标准）

• 结构：90° 直角角阀

型号后缀含义（订货关键）

完整型号常见：LCAV-25HK / LCAV-25HKT / LCAV-25HKPP

• H：气动驱动头

• K：KF (NW) 法兰

• T：簧片位置开关（开 / 闭位置信号反馈）

• PP：防尘保护等选配

无 T = 不带位置检测；自动化产线一般建议选用带T（簧片开关）版本

产品特点

1. 压缩空气驱动自动启闭，适配真空系统 PLC 自动化控制；

2. 高密封性，满足高真空工况；

3. 标准 KF25 快装结构，拆装维护便捷；

4. 可选阀位反馈开关，上位机识别阀门状态；

5. 紧凑型体积，节省真空腔体管路空间。

典型应用

• 溅射镀膜、PVD/CVD 真空设备

• 半导体工艺真空管路

• 真空热处理、检漏设备

• 真空泵前后级隔断阀、腔体隔离阀