DIC迪爱生 PF-T 高温改良型脱气模组
PF-T 不是独立系列，T = Temperature resistant（耐高温后缀）
分为两大分支：PF-D‑T / PF‑L‑T（高温纯水型）、PF‑F‑T（高温药液全氟型）
液体走中空纤维内腔（内灌流 PF 构造），壳程真空脱气 / 溶气，支持反向冲洗

一、型号命名规则

例：PF‑004D‑T、PF‑015L‑T、PF‑13F‑T

• PF：内灌流结构

• 数字：膜面积 / 流量规格

• D / L / F：基础系列

• D：标准纯水；L：低压损大流量纯水；F：全氟耐化学药液

• T：耐高温改良版本

二、两大 PF‑T 品类区分（核心）

1）PF‑D‑T / PF‑L‑T｜高温纯水专用

✅接液材质中空纤维：改性耐高温 PMP壳体：UPVC密封：耐温特种 EPDM✅温度区间：5～60℃连续运行（标准 PF‑D/PF‑L 上限仅 40℃）✅适用介质：高温 DI 超纯水、热水、pH4～10 弱酸碱清洗液❌禁止：有机溶剂、浓酸、HF

2）PF‑XXF‑T（常简称 PF‑F‑T）｜高温药液 / 溶剂专用

✅接液全氟体系中空纤维：PTFE；壳体：PFA；密封：FFKM 全氟橡胶✅温度区间：5～60℃连续（部分规格最高短时可达 70～80℃）✅适用介质：高温蚀刻液、显影液、光刻胶、各类有机溶剂、浓酸碱✅附加优势：内部流道低压损优化，同等流量压降比普通 PF‑F 降低约 30%，适配高温、中高粘度药液循环

三、通用基础技术参数

• 液侧最高耐压：0.294MPa（0.3MPa）长期稳定运行建议≤0.25MPa

• 工作原理：真空脱气 / 外侧通入 N₂/O₂实现溶气两用

• 脱气能力：纯水工况可稳定实现 ppb 级脱氧

• 安装接口：同规格 T 款与普通款外形、接口通用，设备改造直接替换

四、主流常用型号流量参考

▶ 纯水高温款 D‑T / L‑T

• PF‑001D‑T：0.6～60 L/h

• PF‑004D‑T：3～180 L/h

• PF‑004L‑T：15～600 L/h（低压损大流量热水循环）

▶ 药液全氟高温款 F‑T

• PF‑03F‑T：1～100 mL/min

• PF‑10F‑T：1～200 mL/min

• PF‑13F‑T：1～500 mL/min（低压损主力）

• PF‑28F‑T：1～500 mL/min（中大流量高温药液）

五、PF 全系选型横向对照表

表格

六、典型应用场景

PF‑D‑T / PF‑L‑T

1. 半导体槽式高温水洗循环

2. 光伏、面板 60℃热水超声波清洗线

3. 高温超纯水循环除气泡

PF‑F‑T

1. 半导体高温显影、蚀刻药液在线脱气

2. 高温溶剂型涂布、光刻胶循环脱泡

3. 面板湿法热药液循环系统