EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理
一款结构紧凑、风冷式干式真空泵，非常适合大气压抽吸。

一、产品定位

二、核心结构与六大核心技术亮点

1. 大气压区间强抽气特性（核心差异化）

   多级罗茨容积优化，腔体从大气压快速下拉真空性能突出，适配 Load-Lock 频繁破真空、反复抽大气场景，抽气效率远优于同级涡旋泵。

2. 风冷免水冷，安装零配套

   自带大流量散热风扇，无需水冷机、水路管路、水温监控，现场仅需接电，无漏水、结露隐患，设备内嵌、无水车间、实验室均可直接部署。

3. 行业同级*水蒸气处理能力

   标配可开关气镇阀，最大水蒸气排气量 500g/h，可稳定抽取含湿工艺气体，避免水汽在泵内冷凝腐蚀腔体，适配真空干燥、等离子清洗、锂电脱气等含水工况。

4. 宽电压双供电兼容

   支持单相 200~240V（型号 EV-A10-2S）/ 三相 200~240V两种版本，电压允许 ±10% 波动，工厂三相电、实验室单相市电均可适配，改造配电成本低。

5. 低能耗*稳定运行

   极限真空运行功率仅 1.1kW，电源容量 3kVA；运行噪音≤58dB (A)，动平衡转子振动极小，适合精密检测、*实验室环境；连续 7×24 小时不间断稳定运行。

6. 全无油免维护洁净设计

   转子非接触无磨损，无真空油、无油滤耗材；仅需定期检查前置过滤器，长期运行运维成本极低，满足半导体、光学高洁净真空标准。

三、EV-A10 原厂标准参数

四、风冷全系列横向选型对比（EV-PA / EV-A10 / EV-SA）

五、产品综合优势

1. 部署灵活：底部标配万向滚轮，可随时移动工位，紧凑机身占地小，支持设备机柜内嵌、独立机房摆放。

2. 综合使用成本低：无油设计省去油品更换耗材；低待机功率长期省电；气镇结构延长泵体使用寿命，减少拆机维护频次。

3. 工况兼容性广：洁净干燥气体、轻度水汽工艺均可稳定适配，无强卤素 / 大量粉尘场景通用；可选氮气轴承吹扫适配微量弱腐蚀气体。

4. 智能便捷管控：机身集成数字控制面板，实时显示真空、运行状态、故障代码；自带 RS232 信号接口，支持远程启停、故障报警上传至设备控制系统。

5. 安全防护齐全：超温、过载、风扇异常多重连锁保护，异常自动停机；整机符合无尘车间安全规范，无油污外泄风险。

六、典型应用行业与工艺

1. 半导体泛半导体（主力场景）

2. 锂电池新能源

3. 科研分析仪器

4. 光电与通用工业