EBARA荏原风冷无油干式真空泵华南一级代理

产品简介：

EBARA荏原风冷无油干式真空泵华南一级代理
结构紧凑、重量轻、节能的风冷式干式真空泵

Name: EBARA荏原 风冷无油干式真空泵华南一级代理EV-PA500
Brand: EBARA/荏原
Price: 1888 CNY
Availability: InStock

产品型号：EV-PA500

更新时间：2026-07-08

厂商性质：经销商

访问量：23

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EBARA荏原风冷无油干式真空泵华南一级代理
EBARA荏原风冷无油干式真空泵华南一级代理

一、产品定位

EV‑PA 是 EBARA 荏原超轻量、单相风冷、全无油微型干式真空泵，属于荏原干泵家族中最小型、最轻量化机型。主打 即插即用、无需维护、*、单相220V民用/工业通用。

与 EV‑SA（中型风冷）、ESR/EV‑M/EST（水冷工业级）形成完整梯队：EV‑PA 专门针对微小抽速、轻负载、洁净无粉尘、无腐蚀副产物的小型真空场景，是分析仪器、实验室、小型设备集成、离线真空测试的优选微型干泵。

全系通过 SEMI S2、CE、NRTL 认证，50/60Hz 性能一致，*通用；支持宽电压单相供电，无需三相电、无需冷却水、无需复杂配套。

二、核心结构与技术亮点

EV‑PA 采用微型多级非接触罗茨干式结构，全气流路径无油，无磨损转子结构；整机一体化风冷散热、内置驱动与控制电路，结构极简、故障率极低。

七大核心产品优势（EV-PA 卖点）

1. 轻量化、体积最小

整机重量仅 9~21kg，是荏原全系干泵最轻机型，可桌面放置、设备内嵌、机架安装、移动使用，安装无空间限制。

2. 纯风冷、零配套设备

全系空冷散热，无需冷却水、无需水冷机组、无需铺设管路，真正「插电即用」，适配实验室、办公设备、无水现场环境。

3. 单相宽电压供电

支持 AC100~240V 单相通用，无需工业三相电，民用/实验室/工厂普通电源均可直接使用，适配非标设备集成。

4. 真正免维护、超长寿命

非接触转子+无密封耗材设计，无需定期更换油封、轴承、真空油，无常规保养项目，长期连续运行稳定，运维成本趋近于零。

5. 超低噪音、低振动

精密微型动平衡转子，运行噪音远低于油泵、涡旋泵，适合实验室、精密检测、*车间环境。

6. 洁净无油气污染

全干式无油结构，零油气返流、无碳粉污染，满足精密分析、光学、半导体小型洁净工艺要求。

7. 智能稳定、可远程监控

内置稳定驱动系统，支持连续24h运行；可选远程启停、信号报警输出，适配自动化设备配套。

三、EV-PA 全系原厂标准参数表

全系特性：风冷、无油、单相供电、免维护、50/60Hz通用、极限真空稳定

型号	额定抽速(L/min)	极限真空(Pa)	供电方式	整机重量(kg)	进气口径	额定功率(W)
EV-PA50	50	≤0.5	单相100~240V	9	NW25	180
EV-PA250GB	230	≤0.5	单相100~240V	16	NW25	450
EV-PA500GB	500	≤0.5	单相100~240V	21	NW40	660

四、荏原全系干泵完整梯队选型对照表（最新完整版）

系列	冷却	供电	定位等级	核心适用场景
EV-PA	风冷	单相	微型超轻量、小型真空	仪器分析、实验室、小型设备、无腐蚀洁净轻载
EV-SA	风冷	三相	中小型洁净通用	SEM、检测设备、小型腔体预抽、无水量产设备
ESR	水冷	三相	中轻载量产通用	Load-Lock、传输腔、常规镀膜、轻微腐蚀工艺
EV-M	水冷	三相	中重载腐蚀工艺	刻蚀、ALD、退火、氢气工艺、低极限真空需求
EST	水冷	三相	重载高粉尘工艺	CVD、MOCVD、高粉尘、易结块沉积制程

五、产品核心优势总结

超轻量易安装：9–21kg 小巧，可移动、可内嵌、可桌面摆放，安装零门槛
极简使用成本：无油、无耗材、无定期维护，长期零保养运行
供电适配广：*宽电压单相适配，无需工业配电改造
洁净*稳定：全无油无污染、低振动低噪音，适配精密环境
高性价比微型干泵：替代传统油泵、涡旋泵，寿命更长、洁净度更高

六、典型应用行业与工艺

1. 分析仪器 & 科研实验室（主力场景）

质谱仪、色谱仪、真空测试平台、实验室小型反应腔、样品预处理真空、通用科研真空设备。

2. 半导体 & 泛半导体辅助设备

离线真空检测、小型腔体预抽、晶圆外观检查机、无尘室辅助真空、无腐蚀洁净工位。

3. 光电、精密光学

小型光学镀膜、真空脱泡、真空贴合、镜片检测真空设备。

4. 通用工业精密制造

真空检漏、小型真空封装、物料脱气、自动化设备配套真空源。

七、可选选配

前置过滤器（粉尘/水汽过滤，保护泵体）
气镇阀组件（适配少量水汽工况）
远程信号控制端子、报警输出模块
防震脚垫、固定支架、移动安装套件

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