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EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理
产品简介：

EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理
紧凑型风冷干式真空泵，排气速度高达 5,000 L/m。

产品型号：EV-SA50

更新时间：2026-07-08

厂商性质：经销商

访问量：17

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产品介绍

EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理
EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理

一、产品定位

EV‑SA 是 EBARA 荏原小型紧凑型、全风冷、免维护干式罗茨真空泵，为全系无需冷却水的干泵系列。主打 无水安装、极小体积、超低噪音、零维护、高性价比。
定位：洁净轻载通用型干泵，针对无粉尘、无高腐蚀、无大量固态副产物的精密真空场景。区别 ESR/EV‑M/EST 水冷重载机型，EV‑SA 无需配套水冷机组、无需铺设水路，是设备集成、实验室、分析仪器、小型量产设备的优选型。
全系满足 SEMI S2、CE、NRTL 认证，50/60Hz 频率下抽速、真空性能一致，*通用。

二、核心结构与核心技术亮点

采用多级非接触罗茨转子结构，纯无油干式设计，转子无磨损；轴承/齿轮腔体隔离，绝不污染工艺气体；整机一体化强制风冷，内置智能变频节能控制系统。

六大核心卖点（EV-SA 差异化）

1. 100% 风冷设计，无需冷却水
全系纯风冷散热，无需水冷机、无需管路、无需监控水温，解决现场无水、漏水、结露隐患，安装零门槛，适配设备内嵌、狭小机房、实验室场景。
2. 真正免维护、无耗材运行
非接触转子无磨损、无密封消耗件、无真空油、无油滤；原厂定义长期免保养运行，几乎无运维成本，适合常年连续运行、无人值守设备。
3. 智能怠速超低能耗
搭载自适应负载调速逻辑，保压/待机自动降速休眠，相比同级别干式/油式真空泵节能30%以上，长期使用电费优势明显。
4. 优异耐水汽、洁净抽气能力
针对空气、水汽、常规轻气体优化流道，水汽耐受能力优于普通风冷干泵；全无油结构，无油气返流，满足高洁净精密制程要求。
5. 超轻量、超低噪音振动
小型轻量化机身+精密动平衡转子，运行噪音极低、振动微小，适配精密检测、显微镜、光学镀膜等高静谧要求场景。
6. 简易智能控制与通讯兼容
自带本地控制与故障自诊断，支持远程启停、报警输出；可适配常规工厂通讯对接，操作简单、故障率极低。

三、EV-SA 全系标准参数表（原厂规格）

特性统一：风冷、无油、免维护、极限真空优秀、50/60Hz 通用
型号
额定抽速(L/min)
极限真空(Pa)
冷却方式
核心定位
EV-SA20
2000
≤1.0
风冷
微型主力、设备内嵌、实验室通用
EV-SA30
3000
≤1.0
风冷
中小型腔体、预抽、传输腔通用
EV-SA50
5000
≤1.0
风冷
风冷系列最大抽速、小型量产主泵

四、荏原四大干泵完整选型对比（EV-SA / ESR / EV-M / EST）

系列
冷却
结构
工艺等级
核心用途
EV-SA
风冷
多级罗茨
轻载、洁净、无粉尘
仪器、检测、SEM、小型腔体、无水现场优选，免维护
ESR
水冷
多级罗茨
中轻载、常规腐蚀
Load-Lock、传输腔、通用量产、主打节能性价比
EV-M
水冷
重载罗茨
中重载、腐蚀工艺
刻蚀、ALD、退火、氢气工艺、极限真空高
EST
水冷
螺杆
重载、高粉尘
CVD、MOCVD、高粉末、易结块沉积工艺

五、产品核心优势总结

  • 安装极简：仅需电源，无需水冷、无需配套辅机，设备集成最友好机型

  • 零运维成本：全无油、无耗材、无磨损结构，几乎无需停机保养

  • 节能*：智能怠速休眠，低噪音低振动，适配精密洁净环境

  • 洁净等级高：全干式隔离结构，无油气污染，满足半导体/光学精密制程

  • 工况稳定：耐受常规水汽、轻微洁净气体，连续7×24h稳定运行

六、典型应用行业与工艺

1. 半导体/泛半导体

小型 Load-Lock 预抽、传输腔体、晶圆检测设备、外观检查机、离线真空测试、无粉尘预处理工艺。

2. 精密仪器与科研

SEM扫描电镜、TEM透射电镜、质谱分析设备、实验室真空腔体、精密真空测试平台。

3. 光电与显示

小型基板预抽、光学检测、真空贴合、无副产物精密蒸镀设备。

4. 工业精密制造

真空封装、真空检漏、精密脱泡、小型镀膜设备、自动化设备内置真空源。

七、可选选配

  • 前置粉尘/水汽过滤器（保护泵体，延长寿命）

  • 外部声光报警模组

  • 远程启停与信号反馈模块

  • 防震脚垫、集成安装支架

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